高效过滤器检漏标准程序
1.目的:规范高效过滤器的检漏操作,发现高效过滤器及其安装的缺陷所在,及时采取补救措施以保证洁净区域的洁净度。
2.范围:适用公司内所有洁净区内安装的高效过滤器的检漏操作。
3.职责:质量部QA人员负责高效过滤器的检漏,生产部工程人员负责高效过滤器的补漏或更换。
4.检漏时机:①新安装、修补或堵漏后的高效过滤器;
②使用中的高效过滤器,每1年检漏一次;
③对洁净区洁净度日常监测发现异常,应及时对可疑的高效过滤器
检漏。
5.检漏仪器:尘埃粒子计数器。
6.检漏程序:
6.1开启待测洁净区的空调净化系统,至少运行30分钟。
6.2按说明书将尘埃粒子计数器预热,设置2.83l/min的采样量,准备对≥0.5μm的粒子数进行检测。
6.3将尘埃粒子计数器的采样头靠近高效过滤器送风面1~3厘米处(注意不要碰到高效过滤器、层流罩或天花板上),以3~5厘米/秒的速度,沿着边框和送风面移动扫描。
6.4观察仪器显示≥0.5μm的粒子数变化情况。当扫描到某点,发现≥0.5μm的粒子数急剧增加时,应对该点重点检测。测试时间不低于1分钟。
6.5每个高效过滤器的检漏扫描应进行至少2次。
7.结果判定与处理:
7.1合格标准:各点扫描测得的≥0.5μm的粒子数应不超过10个/2.83L。
7.2对确定存在泄漏的高效过滤器,应通知使用部门停用。由工程人员组织修补或更换。修补或更换后的高效过滤器需重新扫描检漏,合格后方可投入使用。
8.及时填写《高效过滤器检漏记录》及相关记录。
高效过滤器检漏标准程序
1.目的:规范高效过滤器的检漏操作,发现高效过滤器及其安装的缺陷所在,及时采取补救措施以保证洁净区域的洁净度。
2.范围:适用公司内所有洁净区内安装的高效过滤器的检漏操作。
3.职责:质量部QA人员负责高效过滤器的检漏,生产部工程人员负责高效过滤器的补漏或更换。
4.检漏时机:①新安装、修补或堵漏后的高效过滤器;
②使用中的高效过滤器,每1年检漏一次;
③对洁净区洁净度日常监测发现异常,应及时对可疑的高效过滤器
检漏。
5.检漏仪器:尘埃粒子计数器。
6.检漏程序:
6.1开启待测洁净区的空调净化系统,至少运行30分钟。
6.2按说明书将尘埃粒子计数器预热,设置2.83l/min的采样量,准备对≥0.5μm的粒子数进行检测。
6.3将尘埃粒子计数器的采样头靠近高效过滤器送风面1~3厘米处(注意不要碰到高效过滤器、层流罩或天花板上),以3~5厘米/秒的速度,沿着边框和送风面移动扫描。
6.4观察仪器显示≥0.5μm的粒子数变化情况。当扫描到某点,发现≥0.5μm的粒子数急剧增加时,应对该点重点检测。测试时间不低于1分钟。
6.5每个高效过滤器的检漏扫描应进行至少2次。
7.结果判定与处理:
7.1合格标准:各点扫描测得的≥0.5μm的粒子数应不超过10个/2.83L。
7.2对确定存在泄漏的高效过滤器,应通知使用部门停用。由工程人员组织修补或更换。修补或更换后的高效过滤器需重新扫描检漏,合格后方可投入使用。
8.及时填写《高效过滤器检漏记录》及相关记录。