实验室建设
ＰＨＩＬＩＰＳ
ＣＭｌ２０电子显微镜照相系统故障及维修实例
陈跟平张翠兰
（中国石油兰州化工研究中心
兰州７３００６０）
摘要解决办法。
关键词
介绍了ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０电子显微镜照相原缝，描述了产生故障后的现象，分析产生故障的原因并给出
电子显微镜；照相系统；故障
中图分类号ＴＮｌ６
ＴｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇａｎｄＳｅｒｖｉｃｉｎｇＥｘａｍｐｌｅｓｏｆＰｈｏｔｏＳｙｓｔｅｍｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎ
ＣｈｅｎＧｅｎｐｉｎｇ，ＺｈａｎｇＣｕｉｌａｎ
Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ
（Ｃｈｉｎｅｓｅｐｅｔｒｏｌｅｕｍ
Ａｂｓｔｒａｃｔ
ＬａｎｚｈｏＬｌＰｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＲｅｓｅａｒｃｈ
Ｃｅｎｔｅｒ，ＩＭｌｎｚｈｏｕ，７３００６０。Ｃｈｉｎａ）
ｆｏｒｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ．Ｗｅｄｅ－
ｇａｖｅｓｏｍｅｓｅｒｖｉｃｉｎｇ
Ｗｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｐｈｏｔｏ
ｃａｕｓｅ
ｓｙｓｔｅｍ
ｓｃｒｉｂｅｄｔｈｅｐｈｅｎｏｍｅｎａａｎｄａｎａｌｙｚｅｄｔｈｅ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ
ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ
ｏｆ
ｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇ．Ｗｅａｌｓｏ
ｅｘａｍｐｌｅｓ．
ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ｐｈｏｔｏｓｙｓｔｅｍ；ｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇ
１
引言２照相时出现“卡片＂现象
２．１ＰＨＩＬＩＰＳ
电子显微镜越来越成为人们科研过程中不可或缺的分析工具，然而，由万千元器件组成的复杂电镜，其故障的表现是千差万别的，不同厂家或型号的电镜结构相去甚远，电镜本身所具有的高价值，更兼少有机会详细解剖了解其内部结构，这一切都给维修管理工作带来相当的困难。要使电镜更好地服务科研生
ＣＭｌ２０电子显微镜照相原理简介
产，从而达到其利用价值的最大化，设备管理人员应
在日常工作中认真护理的同时，能够及时分析并排除故障。目前，对电子显微镜的维护管理的报道，大部分仅停留在理论基础上，对仪器的故障分析，特别是特定型号的某一部位的故障分析和故障排除报道较少，对ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０透射电镜照相系统的故障分析至今未见报道。
我中心ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０透射电镜是１９９７年引进
并投入使用的。近年来由于机械、电子元器件老化、失效逐渐增多，仪器故障率增加。现将照相系统所发生的故障现象及分析处理结果，采用图文结合的形式作一个总结，供使用同类型号电镜同仁参考。
（注：１．暗盒，２．接受盒，３．底片夹，４．底片托盘）
图ｌ照相暗盒各部件
收稿日期：２００７—０９—２９‘
作者简介：陈跟平，（１９７６一），男，研究生，主要从事业务：电子显微镜（删、ＳＥＭ、ＥＤＡＸ）分析方法研究与应用。
现代科学仪器２００８
Ｉ
１１７
万方数据
电子显微镜的电子图像记录装置是照相系统，包括暗盒及相应的传动机构，照相时，在空压机压力作用下，首先将底片托盘同装有底片的底片夹推至电镜
荧光屏下，曝光结束之后，底片托盘在其后方安装的
弹簧拉力作用下返回暗盒，在返回过程中，装有底片
的底片夹在重力作用下落入接受盒，此时完成电子显
微镜的照片拍摄过程。
（注：１侧视窗，２前视窗）
图２电镜视窗
（注：１空压机放气阀）
图３空压机
（注：１、２固定螺丝，３信号线，４荧光屏横轴）
图４测定曝光时间的信号线
２．２故障现象
底片前进的声音不正常，空气的“嘶嘶”声很快停
止或有底片滑落的声音；或底片退出的声音不正常，
空气的“嘶嘶”声很快停止；电镜在工作时屏幕上出现
１１８
万
方数据“ＰＬＡＴＥ
ＵＮＬＯＡＤ”的提示。
２．３故障分析
出现Ｅ述现象时，很有可能是底片滑轨有障碍或底片卡片。底片滑轨有障碍时，通常情况下需要专业的维修工程师来维修。底片卡片时仪器操作人员通过自己的工作经验可以自行解决。造成底片卡片的原因是底片在
装入底片夹时，底片宽度与底片夹不匹配：底片比底片夹
宽时，底片就会在中央鼓起；底片比底片夹窄时，底片会
部分从底片夹中脱落，从而使底片的一个角或更多角翘起。在曝光过程中，底片宽度与底片夹不匹配时，底片同
底片夹有可能会卡在暗盒与底片托盘的狭缝之间，或者由于底片在运动过程中鼓起或脱落的底片与电镜的其它
机械部分相撞，使得底片托盘脱离滑轨，造成卡片现象。２．４故障排除
，
以下介绍的每一步都有可能解决“卡片”问题，在排除故障过程中，如果本步骤不能解决，逐步往下做，
大部分“卡片”问题应该是可以解决的。
１、有时底片虽然能够正常落入接受盒，但照相结
束后底片的退出速度太慢时，电镜屏幕上也出现
“ＰＬＡＴＥ
ＵＮＬＯＡＤ”的提示，通常情况下，点击控制面
板上的“ＲＥＳＴ”键即可恢复正常。但若该提示经常出
现，可能的原因是底片滑轨有缺陷或其它障碍，这时应该通知专业的维修工程师来校正滑轨。
２、点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，看卡片的问题是否可
以自行解决。如果“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮正上方的
“ＬＥＤ”灯不亮，放下大屏幕。重新抬起大屏幕后
“ＬＥＤ”灯仍不亮，在控制面板的“ＣＡＭＥＲＡ”页面下，
将曝光模式转换为“ＭＡＮＵＡＬ”或“ＴＩＭＥＲ”后，“ＬＥＤ”
灯应该亮起来，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，卡片问题有
可能会解决，这个步骤可能需等待十几分钟。
３、打开房间的灯，从前窗或侧窗观察底片滑轨，
抬起大屏幕，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，如果底片夹不
能前进也不能退出，将曝光模式转换为“ＴＩＭＥＲ”，关闭高压并点击“ＣＡＭＥＲＡＩＲ”对暗舱放人空气，当暗舱中的压强达到大气压时，底片有可能退回。
４、小心打开侧面视窗（图２），用一只手取出已损坏的底片和底片夹，如果手碰不到底片和底片夹，点
击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮再次曝光。
需要注意的是，不要试图将底片放入接受盒，因为此时该底片已经曝光，如果底片夹已损坏，连同底片一同废弃掉，以免下次使用时再次卡片。在每次曝
光过程中，由于底片夹的托盘在拉回底片夹的过程中
要克服阻力，所以曝光时间肯定要比正常曝光时间长
很多，所以要耐心等待。在每次点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮曝光时，因为照相系统的传动装置有４ｋｇ的压力，所以手一定要离开，要放在视屏窗外面，以免受伤。
５、如果以上步骤都不能排除故障，点击“ＣＡＭＥＲ
ＡＩＲ”，打开空压机的进气阀（图３），小心打开侧面和
正面视窗（图２），取下荧光屏，用一只手取出已损坏
ＭｏｄｅｍＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ
２００８
ｌ
的底片和底片夹，如果底片夹取不下来，尽量想办法用镊子或小手钳将底片取出，这个过程一定要小心，不要用力过猛，否则会损坏底片夹或滑轨，造成新的更大的伤害。前后摇动几下底片夹托盘，慢慢将其推
回暗盒。关闭室内１３光灯，将暗盒轻轻摇动并取出，
检查底片和底片夹都正常后，预抽真空后放入暗舱后即可继续拍照。
６、如果底片卡片问题解决，安装视窗的铅玻璃时，确保密封垫圈的缺口始终朝上，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥＡＩＲ”对暗舱抽真空。
３“ＥＸＰＯＳＵＲＥ＂按钮正上方的“ＬＥＤ＂灯不亮
３．１故障现象
抬起主屏准备照相时，“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮正上方的“ＬＥＤ”灯不亮，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮时电镜没有任何响应。３．２故障分析
出现上述现象的可能原因有两种，其一是底片用
完或虽然安装了新底片，但没有改动“ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ”，屏幕显示ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ为“０”；另一种原因是测定的自动曝光时间超出了规定时间，屏幕显示“（（（”，或用以测定自动曝光时间信号线有障碍。３．３故障排除
出现上述故障时，首先从检查底片人手。如果底
片确实用完，要重新安装新底片；如果已安装了新底片但没有改动“ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ”，改动至底片盒中实际的底片数量即可。
当屏幕显示“（（（”时，调整曝光亮度，如果不能解决，检查测定曝光时间的信号线（图４）是不是没有接触到荧光屏，或接触到周围的其它部位，如果是，打开侧面和正面视窗，将信号线的一端接在图４中２号固定螺丝上，确保信号线接触到荧光屏，摆动信号线
的位置，使其不要接触周围的其它部位，屏幕抬起后
不要接触到荧光屏横轴（图４），否则仪器照相时会出现自动保护的现象。
４照相结束时，屏幕出现“Ｍａｉｎｓｃｒｅｅｎ
ｈａｎｄｌｅ＂
的提示可能是底片曝光的全部流程还没有结束，主屏幕已经放下或处于正在放下的过程中。
１万
方数据４．２故障排除
出现该信息时按“ＲＥＳＥＴ”键即可，要注意的是在以后照相时要耐心等待，等曝光的全部流程结束时放下主屏幕。
５
抽真空时，潘宁规尸３的值不变或下降得很慢
５．１故障分析
可能的原因：①照相底片未预抽真空，这时往往底片上有水气，放人暗舱后需要抽很长时间水气才能抽干，所以Ｐ３值下得很慢；②放人底片后照相舱盖未
盖好，有漏气，至使Ｐ３值不下。５．２故障排除
①照相底片未预抽真空，耐心等待或取出暗盒，预抽真空后再放人照相舱；②放人底片后照相舱盖未盖好，有漏气，首先检查照相舱盖的密封垫圈是否完好，然后上下左右摇动暗盒，直至听到“咣当”声后，说
明暗盒已平稳落入其预定轨道，盖好照相舱盖，点击
“ＣＡＭＥＲ
ＡＩＲ”抽真空。
６结束语
电子显微镜是一种复杂的电子光学仪器，它综合
电子、计算机、自动控制、物理、化学、机械、真空、传感
器等众多先进科学技术为一体。复杂的结构决定了电镜发生故障的特点往往不同于其它仪器，例如，当
其出现成像故障时，既可能是电气系统原因，也可能
因电子光路合轴不良或污染所致，更有可能足真空排气系统故障加剧上述原因的形成。由万千元器件组成的复杂电镜，其故障的表现也是千差万别的，如何面对这种情况呢？我们的经验是当电镜出故障时，不要急于下结论，也不要急于动烙铁进行盲目检修，这
样做只能适得其反，甚至会扩大故障，导致严重后果，
而应该首先根据故障特点，估计故障可能由哪几方面原因引起，然后逐一加以查证，最终便可把真正的故障原因找出来。检修过程中应避免大拆大卸，因为有
的电镜部件比较娇嫩，即使是轻微损伤也会影响整体以避免损伤。但是工作中也不要过于保守，应持有胆参考文献
［１］ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０说明书。
１１９
４．１故障分析
性能。如万不得已需拆卸，也应轻拿轻放、谨慎小心，
大心细，敢修巧修的作风。
现代科学仪器２００８
PHILIPS CM120电子显微镜照相系统故障及维修实例
作者：作者单位：刊名：英文刊名：年，卷(期)：
陈跟平， 张翠兰， Chen Genping， Zhang Cuilan中国石油兰州化工研究中心,兰州,730060现代科学仪器
MODERN SCIENTIFIC INSTRUMENTS2008(1)
参考文献(1条)
1. PHILIPS CM120说明书
本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_xdkxyq200801035.aspx
实验室建设
ＰＨＩＬＩＰＳ
ＣＭｌ２０电子显微镜照相系统故障及维修实例
陈跟平张翠兰
（中国石油兰州化工研究中心
兰州７３００６０）
摘要解决办法。
关键词
介绍了ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０电子显微镜照相原缝，描述了产生故障后的现象，分析产生故障的原因并给出
电子显微镜；照相系统；故障
中图分类号ＴＮｌ６
ＴｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇａｎｄＳｅｒｖｉｃｉｎｇＥｘａｍｐｌｅｓｏｆＰｈｏｔｏＳｙｓｔｅｍｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎ
ＣｈｅｎＧｅｎｐｉｎｇ，ＺｈａｎｇＣｕｉｌａｎ
Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ
（Ｃｈｉｎｅｓｅｐｅｔｒｏｌｅｕｍ
Ａｂｓｔｒａｃｔ
ＬａｎｚｈｏＬｌＰｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＲｅｓｅａｒｃｈ
Ｃｅｎｔｅｒ，ＩＭｌｎｚｈｏｕ，７３００６０。Ｃｈｉｎａ）
ｆｏｒｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ．Ｗｅｄｅ－
ｇａｖｅｓｏｍｅｓｅｒｖｉｃｉｎｇ
Ｗｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｐｈｏｔｏ
ｃａｕｓｅ
ｓｙｓｔｅｍ
ｓｃｒｉｂｅｄｔｈｅｐｈｅｎｏｍｅｎａａｎｄａｎａｌｙｚｅｄｔｈｅ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ
ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ
ｏｆ
ｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇ．Ｗｅａｌｓｏ
ｅｘａｍｐｌｅｓ．
ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ｐｈｏｔｏｓｙｓｔｅｍ；ｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｇ
１
引言２照相时出现“卡片＂现象
２．１ＰＨＩＬＩＰＳ
电子显微镜越来越成为人们科研过程中不可或缺的分析工具，然而，由万千元器件组成的复杂电镜，其故障的表现是千差万别的，不同厂家或型号的电镜结构相去甚远，电镜本身所具有的高价值，更兼少有机会详细解剖了解其内部结构，这一切都给维修管理工作带来相当的困难。要使电镜更好地服务科研生
ＣＭｌ２０电子显微镜照相原理简介
产，从而达到其利用价值的最大化，设备管理人员应
在日常工作中认真护理的同时，能够及时分析并排除故障。目前，对电子显微镜的维护管理的报道，大部分仅停留在理论基础上，对仪器的故障分析，特别是特定型号的某一部位的故障分析和故障排除报道较少，对ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０透射电镜照相系统的故障分析至今未见报道。
我中心ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０透射电镜是１９９７年引进
并投入使用的。近年来由于机械、电子元器件老化、失效逐渐增多，仪器故障率增加。现将照相系统所发生的故障现象及分析处理结果，采用图文结合的形式作一个总结，供使用同类型号电镜同仁参考。
（注：１．暗盒，２．接受盒，３．底片夹，４．底片托盘）
图ｌ照相暗盒各部件
收稿日期：２００７—０９—２９‘
作者简介：陈跟平，（１９７６一），男，研究生，主要从事业务：电子显微镜（删、ＳＥＭ、ＥＤＡＸ）分析方法研究与应用。
现代科学仪器２００８
Ｉ
１１７
万方数据
电子显微镜的电子图像记录装置是照相系统，包括暗盒及相应的传动机构，照相时，在空压机压力作用下，首先将底片托盘同装有底片的底片夹推至电镜
荧光屏下，曝光结束之后，底片托盘在其后方安装的
弹簧拉力作用下返回暗盒，在返回过程中，装有底片
的底片夹在重力作用下落入接受盒，此时完成电子显
微镜的照片拍摄过程。
（注：１侧视窗，２前视窗）
图２电镜视窗
（注：１空压机放气阀）
图３空压机
（注：１、２固定螺丝，３信号线，４荧光屏横轴）
图４测定曝光时间的信号线
２．２故障现象
底片前进的声音不正常，空气的“嘶嘶”声很快停
止或有底片滑落的声音；或底片退出的声音不正常，
空气的“嘶嘶”声很快停止；电镜在工作时屏幕上出现
１１８
万
方数据“ＰＬＡＴＥ
ＵＮＬＯＡＤ”的提示。
２．３故障分析
出现Ｅ述现象时，很有可能是底片滑轨有障碍或底片卡片。底片滑轨有障碍时，通常情况下需要专业的维修工程师来维修。底片卡片时仪器操作人员通过自己的工作经验可以自行解决。造成底片卡片的原因是底片在
装入底片夹时，底片宽度与底片夹不匹配：底片比底片夹
宽时，底片就会在中央鼓起；底片比底片夹窄时，底片会
部分从底片夹中脱落，从而使底片的一个角或更多角翘起。在曝光过程中，底片宽度与底片夹不匹配时，底片同
底片夹有可能会卡在暗盒与底片托盘的狭缝之间，或者由于底片在运动过程中鼓起或脱落的底片与电镜的其它
机械部分相撞，使得底片托盘脱离滑轨，造成卡片现象。２．４故障排除
，
以下介绍的每一步都有可能解决“卡片”问题，在排除故障过程中，如果本步骤不能解决，逐步往下做，
大部分“卡片”问题应该是可以解决的。
１、有时底片虽然能够正常落入接受盒，但照相结
束后底片的退出速度太慢时，电镜屏幕上也出现
“ＰＬＡＴＥ
ＵＮＬＯＡＤ”的提示，通常情况下，点击控制面
板上的“ＲＥＳＴ”键即可恢复正常。但若该提示经常出
现，可能的原因是底片滑轨有缺陷或其它障碍，这时应该通知专业的维修工程师来校正滑轨。
２、点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，看卡片的问题是否可
以自行解决。如果“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮正上方的
“ＬＥＤ”灯不亮，放下大屏幕。重新抬起大屏幕后
“ＬＥＤ”灯仍不亮，在控制面板的“ＣＡＭＥＲＡ”页面下，
将曝光模式转换为“ＭＡＮＵＡＬ”或“ＴＩＭＥＲ”后，“ＬＥＤ”
灯应该亮起来，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，卡片问题有
可能会解决，这个步骤可能需等待十几分钟。
３、打开房间的灯，从前窗或侧窗观察底片滑轨，
抬起大屏幕，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮，如果底片夹不
能前进也不能退出，将曝光模式转换为“ＴＩＭＥＲ”，关闭高压并点击“ＣＡＭＥＲＡＩＲ”对暗舱放人空气，当暗舱中的压强达到大气压时，底片有可能退回。
４、小心打开侧面视窗（图２），用一只手取出已损坏的底片和底片夹，如果手碰不到底片和底片夹，点
击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮再次曝光。
需要注意的是，不要试图将底片放入接受盒，因为此时该底片已经曝光，如果底片夹已损坏，连同底片一同废弃掉，以免下次使用时再次卡片。在每次曝
光过程中，由于底片夹的托盘在拉回底片夹的过程中
要克服阻力，所以曝光时间肯定要比正常曝光时间长
很多，所以要耐心等待。在每次点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮曝光时，因为照相系统的传动装置有４ｋｇ的压力，所以手一定要离开，要放在视屏窗外面，以免受伤。
５、如果以上步骤都不能排除故障，点击“ＣＡＭＥＲ
ＡＩＲ”，打开空压机的进气阀（图３），小心打开侧面和
正面视窗（图２），取下荧光屏，用一只手取出已损坏
ＭｏｄｅｍＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ
２００８
ｌ
的底片和底片夹，如果底片夹取不下来，尽量想办法用镊子或小手钳将底片取出，这个过程一定要小心，不要用力过猛，否则会损坏底片夹或滑轨，造成新的更大的伤害。前后摇动几下底片夹托盘，慢慢将其推
回暗盒。关闭室内１３光灯，将暗盒轻轻摇动并取出，
检查底片和底片夹都正常后，预抽真空后放入暗舱后即可继续拍照。
６、如果底片卡片问题解决，安装视窗的铅玻璃时，确保密封垫圈的缺口始终朝上，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥＡＩＲ”对暗舱抽真空。
３“ＥＸＰＯＳＵＲＥ＂按钮正上方的“ＬＥＤ＂灯不亮
３．１故障现象
抬起主屏准备照相时，“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮正上方的“ＬＥＤ”灯不亮，点击“ＥＸＰＯＳＵＲＥ”按钮时电镜没有任何响应。３．２故障分析
出现上述现象的可能原因有两种，其一是底片用
完或虽然安装了新底片，但没有改动“ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ”，屏幕显示ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ为“０”；另一种原因是测定的自动曝光时间超出了规定时间，屏幕显示“（（（”，或用以测定自动曝光时间信号线有障碍。３．３故障排除
出现上述故障时，首先从检查底片人手。如果底
片确实用完，要重新安装新底片；如果已安装了新底片但没有改动“ＦＩＬＭＳＴＯＣＫ”，改动至底片盒中实际的底片数量即可。
当屏幕显示“（（（”时，调整曝光亮度，如果不能解决，检查测定曝光时间的信号线（图４）是不是没有接触到荧光屏，或接触到周围的其它部位，如果是，打开侧面和正面视窗，将信号线的一端接在图４中２号固定螺丝上，确保信号线接触到荧光屏，摆动信号线
的位置，使其不要接触周围的其它部位，屏幕抬起后
不要接触到荧光屏横轴（图４），否则仪器照相时会出现自动保护的现象。
４照相结束时，屏幕出现“Ｍａｉｎｓｃｒｅｅｎ
ｈａｎｄｌｅ＂
的提示可能是底片曝光的全部流程还没有结束，主屏幕已经放下或处于正在放下的过程中。
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方数据４．２故障排除
出现该信息时按“ＲＥＳＥＴ”键即可，要注意的是在以后照相时要耐心等待，等曝光的全部流程结束时放下主屏幕。
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抽真空时，潘宁规尸３的值不变或下降得很慢
５．１故障分析
可能的原因：①照相底片未预抽真空，这时往往底片上有水气，放人暗舱后需要抽很长时间水气才能抽干，所以Ｐ３值下得很慢；②放人底片后照相舱盖未
盖好，有漏气，至使Ｐ３值不下。５．２故障排除
①照相底片未预抽真空，耐心等待或取出暗盒，预抽真空后再放人照相舱；②放人底片后照相舱盖未盖好，有漏气，首先检查照相舱盖的密封垫圈是否完好，然后上下左右摇动暗盒，直至听到“咣当”声后，说
明暗盒已平稳落入其预定轨道，盖好照相舱盖，点击
“ＣＡＭＥＲ
ＡＩＲ”抽真空。
６结束语
电子显微镜是一种复杂的电子光学仪器，它综合
电子、计算机、自动控制、物理、化学、机械、真空、传感
器等众多先进科学技术为一体。复杂的结构决定了电镜发生故障的特点往往不同于其它仪器，例如，当
其出现成像故障时，既可能是电气系统原因，也可能
因电子光路合轴不良或污染所致，更有可能足真空排气系统故障加剧上述原因的形成。由万千元器件组成的复杂电镜，其故障的表现也是千差万别的，如何面对这种情况呢？我们的经验是当电镜出故障时，不要急于下结论，也不要急于动烙铁进行盲目检修，这
样做只能适得其反，甚至会扩大故障，导致严重后果，
而应该首先根据故障特点，估计故障可能由哪几方面原因引起，然后逐一加以查证，最终便可把真正的故障原因找出来。检修过程中应避免大拆大卸，因为有
的电镜部件比较娇嫩，即使是轻微损伤也会影响整体以避免损伤。但是工作中也不要过于保守，应持有胆参考文献
［１］ＰＨＩＬＩＰＳＣＭｌ２０说明书。
１１９
４．１故障分析
性能。如万不得已需拆卸，也应轻拿轻放、谨慎小心，
大心细，敢修巧修的作风。
现代科学仪器２００８
PHILIPS CM120电子显微镜照相系统故障及维修实例
作者：作者单位：刊名：英文刊名：年，卷(期)：
陈跟平， 张翠兰， Chen Genping， Zhang Cuilan中国石油兰州化工研究中心,兰州,730060现代科学仪器
MODERN SCIENTIFIC INSTRUMENTS2008(1)
参考文献(1条)
1. PHILIPS CM120说明书
本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_xdkxyq200801035.aspx