第 １０卷 第５ 期２
０ １３年 ０１ 月
纳 器米 件与 技 术
Ｎａ ｎｏ ｄｅ ｉｖ ｃ＆ ｅＴ ｅｃｈ ｎ ｏ ｌ ｏｇｙ
ｏ １Ｖ． １ ０ Ｎｏ ５． Ｏ ｔｃ ｂ ｅｏ ｒ ２ １０３
微悬
臂梁传 器 工作模式理论感分研究
析志伟刘 童朝 阳，，金张 平 郝，兰 群
（防化 研 院究国民核 生化灾 害防护 国家重 点 实 验室，北 京 １０ ２ ２ ０ ５ ）
摘
要：简要地介 了绍微悬梁臂传感的器工作原和理要特性 主，着介 绍了微重悬 梁臂传器感动 、
静 态工作模 式下的理 论分 析方 法 和 高灵提 度 的敏主 要 方 法微 悬。臂 传梁 感器 动 在态 ．７ －作 式 模下 敏 度灵 极高 但 在， 态环 境 下使液 用易受到 液 阻尼体效应 的 响 ，影 适 只在 于空 气运中行 使 用； 相
对 于动 模 式态， 静态模 式受液 体黏 性 的影响 小较，更 适 于在液 态中使 用。 关键 词 微 ：悬臂 梁传感 器 ；作 工 式 模；论理 析 ；分灵 敏 度； 影 因响素
Ｒｅ ｓｅ ａｒ ｈｃ ｏ ｎ Ｔｈｅ ｏ ｒ ｅｔｉ ｃ ｌａ Ａ ｎ ｌａｙ ｓ ｓ ｉ ｆｏ ｐ Ｏｅ ｒａ ｔ ｎｇ ｉ
Ｍｏ ｄｅｓ ｏ ｆｒ】Ⅵｉ ｃ ｒ ０一 ｃａ ｎ ｔ ｉ ｅ ｖ ｅｌｒ Ｓｅ ｎ ｓ ｏｒ
Ｌ Ｕ ＺＩｈ —ｉ ｗ ｅｉ Ｔ， ＮＧ Ｏ Ｚｈ ａ － ｙｏ ａｎ ｇ，Ｚ Ｈ ＡＧ Ｎ ｉ ｎ － ｐＪ ｉｎ ｇ ＨＡＯ， Ｌ ａ ｎ － ｑｕ ｎ
（
Ｓ ｔ ａｔ ｅ Ｋ ｅ ｙ Ｌ ａｂ ｏ ｒａ ｔ ｒ ｏ ｙｏ ｆ Ｎ Ｃ Ｂ ｒ Ｐ ｏ ｅ ｔ ｃ ｔｉｏ ｎ ｆ ｏ ｒＣ ｉ ｖ ｉ ｌ ｉａ ｎ， Ｒ ｓｅ ｅ ｒ ｃａｈ Ｉ ｎ ｔ ｉｓ ｔｕ ｅ ｔ ｆｏ Ｃ ｅ ｍｉｈｃ ａ ｌ Ｄｅ ｅｆ ｎ ｅ ， ｃ Ｂｅｉ ｊｉ ｎ １ｇ ０ ２ ２ ０ ５，Ｃ ｈ ｉ ａ ｎ）
Ａ ｂｓ ｔ ｒ ｃ ａ ｔＴ ｈ ： ｗｏ ｅ ｋｒ ｉｎ ｐｇ ｎ ｒｉ ｉ ｐ ｃ ｅｌ ｎ ａ ｄｍ ｉａｎ ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｔ ｅ ｉ ｒ ｓ ｃ ｔ ｃｉｓ ｏ ｆ ｉｍ ｒｃ ｏ －ｃ ａ ｎｔ ｉ ｌ ｖｅ ｒ ｓ ｅｅ ｎ ｓｏ ｒｓ ａ ｒ ｅ ｉ ｎｔ ｒ ｄｏｕ ｃｅ ｄ ｅ ， ｐ ｅ ｓ ｉ ｃ ｌａ ｙ ｌ ｔ ｈ ｅｏｒ ｅ ｔ ｉ ａ ｌ ｃ ａｎａ ｙ ｌ ｉ ｓｓ ｆ ｏ ｍ ｉｃ ｒｏ ｃ ａ—ｎ ｔ ｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ ｓ ｅ ｎｓ ｏ ｒ ｉ ｎ ｙ ｄ ｎ ａｉｍｃ ａ ｎ ｄ ｓ ｔ ｔａ ｉｃ ｏｐ ｅ ｒ ａ ｔ ｉｎ ｇｍｏ ｄ ，ｅａ ｎ ｄｔｈ ｅ ｐ ｉｍ ｒ ａ ｙｒ ｍｅｔ ｈ
ｏ
ｄ ｔ ｏ ｍｉｐｒ ｏ ｖ ｅ
ｔ
ｅ ｈ ｓ ｅｎ ｓｉ ｔｉ ｖ ｉ ｙｔ ａｒ ｅ ｄ ｓ ｉ ｃ ｕ ｓ ｓ ｅ ｄｓ． Ｉ ｎ ｔ ｅｈ ｄ ｎｙ ｍｉａ ｃ ｏｐｅ ｒ ａ ｔ ｉｎ ｇ ｏ ｄｍｅ ， Ｍｉｃ ｒ ｏ－ ｃ ａ ｎｔ ｌｉ ｖ ｅ ｅ ｒ ｓ ｅ ｓ ｎｏｒ ｈ ａ ｓ ａ ｈｉ ｇｈ ｓ ｅ ｎ ｉｓ ｔｉｖ ｉ ｔ ｙ， ｂ ｕ ｔ ｉ ｔ ｉ ｓ
ｖ ｕ ｌｎ ｅ ｒａ ｂ ｌｅ ｔ ｏ ｔ ｈ ｅ ｄａ ｍｐｉ ｇｎ ｅ ｆ ｆ ｃ ｔ ｅ ｏ ｆ ｔｈ ｅｌ ｉｑ ｕｉ ｄ． Ｔｈｕ ，ｓｔ ｈ ｅ ｏ ｐｅ ｒａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓｉ ｏ ｌ ｙ ｎ ｕ ｓ ｉｔａ ｂ ｌｅ ｆ ｒ ｏ ｓｕ ｅ ｎｉ ｔ ｅｈ ａ ｉ ．ｒ Ｃ ｏｍｐ ａ ｒ ｄ ｅ ｗ ｉｔ ｈ ｔ ｈ ｅ ｙｄｎ ａ ｍ ｃ ｉ ｏｐ ｅ ｒ ａ ｔｉ ｎ ｇ ｍ ｄｏｅ ，ｓ ｔ ｔ ｉａ ｃ ｏ ｐ ｅｒ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ｍｏｄ ｅ ｉ ｓｍｏ ｒ ｅ ｓ ｕｉ ｔ ａ ｂ ｌｅ ｆ ｏ ｒ ｉ ｒｓ ｅ ｉ ｎ ｔ ｈ ｅ ｌｉ ｑ ｉｕ ｄ ｂ ｅｃ ａ ｓ ｕｅ ｏ ｆ ｌ ｅｓ ｓ ｉ ｎｌ ｆ ｕ ｅ ｃ ｅｎ ｓ ｒ ｓ ｕ ｅ ｅｈｄ ｆ
ｒｏ ｍ ｔ ｅｈ ｖｉ ｓ ｃ ｏ ｕ ｓ ．
Ｋ ｙ ｅｗｏ ｒｄ ｓ ： ｍｉ ｃ ｏ ｒ —ｃａ ｎｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅｒ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏｒ ； ｏ ｅｐ ｒａｔ ｉ ｎｇ ｍ ｄｏｅ ｓ ； ｔｈｅ ｏｒ ｅｔ ｉ ａ ｌ ｃ ａ ｎａｌ ｙ ｓｉ ｓ； ｓ ｎｅｓ ｉ ｔ ｉ ｖ ｉｔｙ ； ｉ ｎ ｌ ｆｕ ｎｅ ｃ ｉｎ ｇ ｆａ ｃ ｔ ｏｒｓ
中图分 类
号 Ｔ Ｐ ２ ： １２． ９
文
献 标识码 Ａ：
文编章号 ： １８ ２１— １ １９８ ２ ０（１ ３） ０５ —０ ０ １ ０ —０５
０ 引 言
由于微 臂悬梁感器传具体有积小 灵、度高敏 、 需不记标、 阵列可等优化点，在 发微型展化、集 化 、智成能化方面具有很大 等优的势 成为，年
近目前， 以 悬臂 微传梁 感 为基 器础 的各种 生
分化子 检测 究研已经成 为 生化 检 测领 域重的 研点究
方 向。而然 对 于微 悬 ，梁臂传 器 上感发 生生 的 反化 应 何 如引 起微悬 臂梁 弯 的 曲 或 （振谐 频 率 的改
变
研究还较）少 在现阶。 ，微段悬梁臂感传器
的 、动静态作工式模均不同的有论理模及型研究方 法 。本文主要概了括微臂悬梁传感 器的作工原理 和主要特性 ． 着重介绍了悬微梁传感器动臂 、静 态作模工式下 的论分析
理
方法提和高敏度的主
要灵方法
的究研点热，并 广用于抗泛 原 【”、 ＤＮ ｔＡ２ 、细菌１闭、
病毒 ［４ １ 、化学毒 及爆炸物 、物生分物子构象变化 ｆ
ｉ ］
湿、度阎 流、 速、热量 【 ｏｌ 诸多检等测领 域 。收 稿
日期 ： ２０１ －３ ０ ９ — ３１
ｌＯ
第 １
０卷第 期５
２０ １３ １年０月
纳
米器 件技 与 术
ａＮ ｎ ｏ ｅｄｖ ｉ ｃｅ ＆Ｔ ｅ ｈｃｎ ｏ ｌ ｇ ｏ ｙ
０ ｌ Ｖ ＿１ ０ Ｎ ｏ ５ Ｏｃ ｔ ． ｏｂ ｅｒ ２０ １３
时，ｉ
＝
ｆｉ＋ ＝ （ 、／ 【 者 ［］ １４ ‘
］（
９ ）
由是 表于 面 结 合 子分引 起的 谐 振 率频改 变，△ 是 所 合 结分子 总 质量 的．。『 由是分 于子结
图３微 悬臂 梁 态动 式模工作 原 理
合引起
生分子物相互间作产生用的表面力 应 。 由 （ ５ ） （、６ ） （、 ７ 式）可知 ， 微悬臂 梁质 一 量定 、
合结同 样标 分子目的 情况 下 ，微梁 长 ，越 其（
）３
刚度 改 变的 是均 的匀） ： Ａ Ｕ ＝ （ 一 ）
率 频化 值变 大越，微悬 臂 的梁 敏灵度 越 也 。高 悬微臂 梁传 感器 在 态动 作工 模 式下灵敏 度极
悬
臂 谐 振 频梁 率随 悬 梁臂质 量的 增 而加减 小 ， 悬臂随 梁弹 性系 数增 加 而增 的 加。 前 大 多目
高， 但液态环境下在用使受到液体易阻效尼应 的 影，只适于响空气中运在使用行，相 对动于模态
式静， 模态 受 液式体黏 性 的 影较响小 ，更 适在于 态液 使 中 。用
数的报
认道悬臂为谐振梁率的频化主变是要由 于分 子结＼ ７合 、引 Ｉ起 的质 量增加 ， 质量 变 改 相对使 弹性
系 数 改 变对，悬 臂 梁 振 谐 率频 的变 化占 主导 作
用，因 ，此上中式性弹数项系忽可略，谐振频
率变化公 可简化式为 ：
ｍＡ一
４
提灵敏 高的度要方主 法 ４． １ 优化微 臂悬梁何结构几
由ｓｔ ｏ ｎ ｅｙ方 程＿ ２ｌ＿ 可 知微 。 悬臂梁 的 弯 曲大小 与 微悬 臂梁 的 度及长厚 有度关 与 。长其 度 平的 方正 比成， 与厚其度 的平 方成反 比因，此 ，理论上
＿
（
） ４
由
（ ） ４式可 ，知微悬梁谐振臂频 的率变化 未结与合目 标分 时子 的固有频率 质量及增加 正 成比 与未结合 ，目分标时微子的梁量质成 比，反 因 此若，在证保微梁表积大面小变不能结而上同合 多的样标目分的情子下况 ，微梁制作的越 ，其 薄 未合结 标目分时固有频率越
子大 、质量越小 微 ． 梁也 灵 更敏 。 但最 近研有究报道表 明 ， 谐振率频的 化 主要变是由生物分子间相于互用诱作 导的面
应表 导力致 刚 度变 化 引而 ，总起的 量 质 改 引起变 频 率 变化 是不主 。 由分子因间 作 用引 起的 表应 力面 可 下面用这个 公式 来估 算 ：
来说 ，
微悬臂梁 长的度长 ，越度越厚 ，薄灵其敏 越度高。而然，目前制 作微臂悬梁 技的而言 ，
过 长和术过 薄会 导致 微悬 臂 梁容 易裂断 因， 此保 在 证 微悬 臂梁 固的前 牢提 ．加下 大 微悬 臂梁 长 度与 厚 的度相 比值对 以可显著增加 其 敏灵度。
４． ２使 杨用 氏模量 更 的材料低
除 用 硅、氮 硅 化和 氧二化 等硅 硅材 制料作微
ｊ ｉ
丁 ：
【 Ｌ孚 ２ （ ）筝Ｊ＋ （ 筝 ２ ）］
１
５ （
）（６ ）
悬
梁 ，还臂可 应 用杨氏 模量 更低 的 聚物高 材来 料
备制 杨微氏模 量只 有硅 材 料的１ ／ ４０ ，由ｓ ｔ ｏｎ ｅｙ
方
丁 。 是单位 长 度微每悬臂 梁 的 弯曲载荷 ，
丁ｏ ＝ ｝
程＿
ｌ ２ ］ 知 ，可 氏模杨降量 低，敏灵提度 。高相悬对 臂 梁 ，分部文【 献１８ Ⅱ ９ 应］用由 ｓ ｕ 一 ８料材制的微悬
臂 作梁来检 测 目标 物 由 Ｓ。 一 ８Ｕ 作 制的 微 臂悬 梁适 于氮 化 等硅 料 ，而对材Ｐ Ｈ 、 酸 度 碱 等化 学物 质 相 应 不 感敏，在很 多场 合下 以更可 地 消 除 好本底 噪音 但． 制 工造还艺不 是很 熟成 应，用 不多 。
４ ３．纳 米料材的 信号 放大
为占悬梁臂的抗弯刚 ， 度 悬臂梁为长的度。 ｆ
表可示 为 ：
＝
（ ） 、 ／
（
７）
（ ８ ）
为
悬梁臂的有质效量。 Ａ
满 先足 验 程 方 ：
ｃ ｏ ｓ Ａ ｉ ｏｃ ｓｈ Ａ ＋ １ ０ ＝
微在臂悬梁面结表合分子引而频起变率化至 １
２
纳 米料可材 增加以微悬梁 臂检的测敏灵度。
第
５ 期
２ ０ ３年１ｌ ０月
纳
米 科技
ｏ ． ５ Ｎ Ｏ ｔｃ ｏｅｂｒ ２ ０１ ３
Ｎ
ａ ｎｏｓ ｃｉ ｅ ｃｎ ｅ Ｎ＆ ａｎｏ ｔｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇｙ
前 。已目研有究Ｉ ２者０ Ｎ￣硅用纳米子修饰粒的 ｃ — Ｄ Ｎ Ａ 成形疫免合物来检复测Ｈ Ｂ Ｖ（ 乙型肝 病炎毒 ）
Ｄ Ｎ的Ａ 检 测， 灵敏 度达 到２ ３ ． １ ｆ Ｍ一 ２ ３．１ Ｍ，ｎ 比不
Ｈｅｄ ｄ ｅ ｎ ＤＬ， Ｌ ａ ｒ ｅ ａｕ Ｒ ．ＴＤ ｅ ｏ ｒｓ ｐｔ ｉｏ ｎ ｃ ｈａ ｒ ａ ｃｔ ｅ ｒｉ ｓｔ ｉ ｃ ｓ ｏ ｆ ｕ
ｎ ｏ ｃａ ｔ ｅ ｄｓ ｉ ｌ ｉｃ ｎ ｏ ｉ ｍｃｒ ｏ ｃ ｎ ｔａ ｌ ｉｅ ｖｅ ｒ ｓ ｕ ｒ ｆａ ｃｅｓ ｏ ｆｒ ｅ ｘｐ ｌｏ ｓ ｉ ｖ ｅ
ａ ｄｎ ｃ ｏ ｍｍｏ ｎ ｎ ｏ ｎｅ ｘ ｐ ｌ ｏｓｉ ｖ ｅ ｖ ｐａｏ ｓ［ｒＪ ］ ． ｌ ｔＵｒ ａ ｍ ｉｃ ｒ ０ｓ ｃ 叩 ｙ，
２ ０ ４， ０１０ ０ ： １２ １ －２ １ ．６
纳米用粒 子 免疫 复 物合 检测的灵 敏 度 提高 了 ２—３ 个 数量级 。 ４ ． ４ 磁力大 加 弯 曲 在 用 纳 利米材料 修饰 的抗体 与 原形 成抗免 疫
６ ［】
Ｐ ｎｎ ａ ｉｄ ｗｕ ｇ ｅ Ｌ ａ，ＡＰｉ ｎｎ ａ ｄｕ ｗ ａ ｇ ｅ ＡＬ， Ｗ ｇｉ Ａ， Ｈｅ ｄ ｄｅ ｎ Ｄ
． ｅＬ ｔ ａ １ ． ｅ Ｄ ｔｅｃ ｔｉ ｏｎ ｏ ｆ ｔ ｒｉ ｎｉ ｔ ｒｏ ｔｏ ｌ ｅ ｕ ｅ ｎ ｖ ａｉ ｅ ｄ ｌｆａ ｇ ｒ ａｔ ｉｏｎ ｏ ｎ ａ
ｍ
ｃｉｒ ｏｃ ａｎ ｔ ｉｌｅ ｖｅ ｒ【Ｊ ］ Ｊ ＿ｏｕ ｒ ａｎｌ ｏ ｆ Ａ ｐｐ ｌ ｉｅ ｄ Ｐ ｈ ｙ ｉｓ ｓｃ，
２０ ０， ４ ５９ ： ５８７ １— ５ ８ ５７ ．
Ｍ
ｕｋｈ ｏ ｐ ａ ｈｄ ａｙ ｙ Ｒ ，Ｓ ｍｕ ｂ ａ ｅ ｖｙ Ｖ， Ｌ ｏ ｒｅ ｎ ｚ ｅｔｎ Ｍ ， Ｋ ｊ ｍｓ ｅＪ ，
Ａ ｄｎ ｒｅ ａ ｓ ｎ ｅ Ｐ ，ＡＢｅ ｓｅ ｎ ｂａ ｃ ｅｈ ｒ Ｆ．ａＣ ｎ ｔｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ ｓｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｏｒ ｆ ｎ ｎａｏ ｍ ｅｃ ｈ ａｕｉ ｃ ａ ｌ ｅｄ ｔｅ ｔ ｃ ｏｉｎ ｏ ｆ ｓ ｐ ｅ ｃ ｉｉｆ ｃ ｐ ｒ ｏ ｔ ｅ ｉ ｎｃ ｏ ｎｏ ｒ ｆ ａ ｍ —
复合将物号放大信的础上基 ，可还通过结对上
的合纳米材 施料加 力来 大增悬臂 梁 弯 曲的。有 究研 者 ２ ｌ 【＿利 用磁性 四 氧化 铁 纳三米 粒 修饰 子的抗体 与 抗 形原成 疫免 合复 物 测 检 Ｐ ＡＳ（前 列 腺特 异 性抗 ）原 磁．性 氧 四 化 三铁纳 粒米子 免疫 复 合物 在微 臂悬 梁 表 形面 成后以 用， 一块 径 直为２ ｃ ｍ 的 圆 柱形永久 铁磁在微距臂悬 约梁５ Ｉ０ ｘ ｍ的地 方 加 大 微 悬臂 梁的 弯曲 结果 。 示 显， 在 ＰＳ Ａ 为同
０ ． ４ ｎ ｇ ｍ ／的情 Ｌ 况下 ．由 磁 场于 对 性 磁纳 米粒子
ｔ
ｉ ｏ ｎｓ ［ ］ ． Ｊ ａ ｎＮｏ Ｌｅｔ ｔ ｅｒ ｓ ，２ ０ ０ ５ ， ５ ２ ：３ ８ —５ ２３ ８８ ． ［８ ］ ｈＳｉ Ｘ ａｉ — ｏＬ ｅｉ ， Ｃ ｈ ｅ ｎ
Ｑ ｉ， Ｆ ｎ ａｇ Ｊ ，ｉｅ ｔ ａ １ ．Ａ １ ２ ０３－ ｃ ｏ ａｔ ｅ ｄ ｉｍ— ｃ ｒ ｏ ｃ ｎ ａｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅ ｒ ｓ ｆ ｒ ｏ ｄ ｅｔ ｃ ｅｔ ｉ ｏｎ ｏｆ ｍｏ ｉ ｓ ｔ ｒ ｅ ｕ ｔ ａｐ ｐ ｍ ｌ ｅ ｖ ｅｌ［ Ｊ ］ ．
Ｓｅ ｓ ｏｎｒ ｓ ａ ｎ ｄ Ａｃ ｔ ｕ ａｔｏ ｒ ｓ Ｂ ，２０ ０８ ， １２９ ： ２１—４ ４２５ ．
【
］９ Ｚ ｈ ａ ｎ ｇ Ｑ ｉ， Ｒ ｕ ａ ｎ Ｗ ｎ — Ｚｅｈ ｏ ｕ， Ｗ ｎａ ｇ ａＨｎ ｅ，ｔ １ａ． Ａ ｓ ｅ ｆ —
ｂｌ ｅ ｄｎ ｄｅ ｐｉ ｅ ｚ ｒ ｅｏｓ ｉｓｔ ｉ ｖ ｅ ｉｍ ｃｒ ｃ ａ ｎｏ ｔｉ ｌ ｅ ｖ ｅ ｒ ｌ ｆ ｏｗ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｏｆ ｒ
ｌ ｏｗ ｌ ｆ ｏ ｗ ｒａ ｔ ｅ ｍｅａ ｓｕ ｒ ｍ ｅｅｎ ［ Ｊｔ］ ． Ｓｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ａ ｎ ｄ Ａ ｃｔ ａｕ ｔｏ ｒ ｓ Ａ，
２ ０ ０１ １ ５，８ ：２ ７３ — ２ ７９ ． ｃｈ ｅｌ ｓ Ｔ Ｔ， ｉ ｆ ｅ ｅｎｂ ｃ ｈａ ｒｅ Ｆ ，Ｓ ｃｈ ａｆ ｅｒ Ｒ．Ｃｏ ｎ ｄ ｎ ｅ ａ ｔ ｓ ｉｏｎ ｏｆ ［ １ ０］ ａ
Ｂ 引而吸引起 的 输 电出压加大 ４ ． 了３ 倍 。
ｉ
ｓｏ ｌ ａ ｔ ｅ ｄ ｍ ｔｅａ ｌ ｃ ｌ ｓｕ ｔ ｅ ｓｒ ｓ ｔｕ ｄ ｉ ｅｄ ｗ ｉｔ ｈａ ｃ ａ ｌｏ ｒｉ ｍｅ ｔ ｅ ｒ［ Ｊ Ｊ．
Ｊ ｏ ｕｒ ｎ ｌ ａ ｏ ｆ Ｃ ｈ ｅｍｉｃ ａｌ Ｐ ｈｙ ｓ ｉ ｃ ｓ ， ９１９ ９ １ ， １ ０ ： １０ ０ ８０１—０ １ ０ ５．
结５语
文简本地概要 了括微臂悬传梁感的器工作原
理 、主 要特 性着， 重 介绍了 悬微臂 梁 感 传器动 、
Ｊ ｏ ｈｎ ｏｓｎ Ｂ Ｎ， ｕＭ ｔ ａ ｈｒ ａｓ ａ ｎ Ｒ ．Ｂｉ ｓｏｅ ｎ ｓｉ ｎ ｇ ｕ ｓ ｉｎ ｇ ｙ ｎｄ ａｍ—
ｉ ｃ —ｍ ｄｏｅ ａ ｃｎｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅｒ ｓ ｅ ｎ ｓｏ ｒｓ ： Ａ ｒ ｅ ｖ ｅｉｗ［ Ｊ］ ．Ｂ ｏ ｉ ｓｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ｎ ｄａ
…
Ｂ
ｉ ｏ ｌ ｅ ｃｅｔ ｏｒ ｉ ｃ ｓｎ， ２１ ０ １． Ｓ Ｔ ＯＮ ＥＹ Ｇ Ｇ． Ｔｈ ｅ ｔｅ ｓｎｉ ｏ ｎ ｏ ｍｅ ｆ ａｔ ｌ ｌ ｉｃ ｉ ｆ ｌｍ ｓ ｄ ｅｐ ｏ ｓ ｔ ｉ ｅｄ
ｂ ｙ ｅ ｅｌ ｃ ｔｒ ｏ ｙ ｓｌ ｓ［ ｉＪ］ ． Ｐ ｒ ｃｏ ｅ ｅｄ ｎｉ ｇ ｓ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｏ ｙ ａＲｌ Ｓ ｏｃｉ ｅ
ｔ
ｙ ｏ ｆＬ
ｏ ｄ ｎｏ ｎ ｓ ｅｒ ｉ ｅ ｓ — Ｃｏａ ｎ ａｔｉ ｎ ｉｎｇ Ｐ ｐａｅ ｒｓ ｏ ｆ ａ Ｍａｔ ｈ ｅｍ ｔａ ｃｉａ ｌ
静态工作
式模下的论理分方法析以提及高敏灵度 的
主要方 。 法
参考 文献
ｕ Ｗ Ｇ Ｈ Ｊ ， ｉ Ｈ，ＦＨａ ｎ ｓ ｅｎ ， ｅ Ｋ ｔ １ ． Ｂ ｉａ ｏ ｓ ａｓａ ｙ ｏ ｆ ｐｒ ｏｓ ｔ ａ ｔｅ —
ａ ｎ ｄ Ｐｈ ｙ ｉｓ ｃａ ｌ Ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｃｔ ｅ ， ｒ１９ ０ ９， ８ ２（ ５５ ３） ： １７ ２ － ７１ ． ５
［ １ ３】 柏张林， 潘青宏．微 臂悬梁 列在 阵子电及鼻 生传物感
中
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７６— ８６９ ．
ｒ ｅ ｉ ｇｎ Ｄ Ｗ Ｔ，ｈ ｕ ｎ ｄａ ｔ Ｔ． ｉ Ｓｕｍｌ ａ ｔ ｏ ｎｉ ｆｏ Ａｄ ｓ ｏｒ ｐ ｔ ｉｏ ｎ ｎ Ｉ— ［ １ ４］ ａＤ
ｓ ｐ ｅ ｃｉｉ ｆｃ ａ ｎ ｔ ｉｇ ｎｅ（ ＰＳ Ａ ）ｕｓ ｉ ｎｇ ｍ ｃ ｉ ｏｒ ｃａ ｎｔ ｉ ｌ ｅ ｖ ｅ ｒ ［ｓＪ ］ ． Ｎ ａ ｕ ｔ ｅｒ
Ｂｉ ｔｏｅ ｃ ｈｎ ｏ ｌｏ ｇ ，ｙ ２ ０ ０１， １９ ： ８ ６５ － ６ ８ ． ０ｌ ｉｃ Ｂ ，ａ Ｙｎｇ Ｙ， Ａ ｕｂｉ ｎＫ， ｅ ｔ ａ １ Ｅｎ．ｕ ｍ ｅ ｒａ ｉｔ ｎ ｏ ｏ ｆ Ｄ ＮＡ ［２ ］ Ｉ
ｄ
ｕ ｃｅ ｄ Ｓ ｔ ｒ ｅ ｓ ｓｏ ｆ ａ Ｍ ｃ ｉ ｏｒ － ｃ ａｎ ｔｉｌ ｅ ｖｅ Ｓ ｅ ｎ ｓｒ ｏｒ［ Ｊ ］． Ｊ ．Ａ ｐｐ １．
Ｐ ｈ ｙ ｓ ， ２０ ０５ ９ ，７（ ４ ） ３ ：５２ ６ — １ ３— ５ ２６ — ５．
［ ５ ］ １ 景 大， 王 飞，雷 赵 学增， 等 ．压 微电悬臂 梁气 体感传 器
ｍ ｏｌ ｅｃ ｕ ｅ ｓ ｂｌ ｏ ｕｎｄ ｔ ｏ ａ ｎａ ｎ ｏ ｍ ｅ ｈｃａ ｎ ｉｃ ａ ｌｏ ｓ ｃｉ ｌ ａ ｌｔ ｏｒ［ ］ ．Ｊ Ｎ
ａ ｎ ｏＬ ｅ ｔｔ ｅ ｒ ｓ ２， ０ ０５， ５：９ ５—２ ２ ９９ ． ．Ｓ Ｍｎ ｔ ｈ ａ ａｒｓ ｎ ａＲ．Ａ ｎｏ ｖ ｅ ｌ ｅ ｔ ｈ ｏｍｄ ｆ ｏ ｒ ｍ ｏｎ ｔｉｏ ｉｒｎ ｇ ［ ３］ Ｘｕ ａｍ ｓ ｓ — ｃｈ ａｎ ｇ ｅ ｒ ｅ ｓ ｐ ｏ ｎｓ ｅ ｏｆ ｐ ｉｅ ｚ ｅｏ ｌｅ ｃｔ ｒ ｉｃ ｅ—ｘ ｃｉ ｔ ｅｄ ｍ ｌ ｌ ｉ ｍｉ — ｅ
态静弯模 曲的型 究研『Ｊ １ ．传 感术技 学 报 ， ２０１ １ ， ２ ４ ０ （５
）
６： ９－２６３３ ．
王
飞，王晓明 等． ，考虑中性 层位置 变 化微 ［ 的１６ 】 景雷 ，大
悬 臂梁气传感体器 静 态 模的型分 ｆ析Ｊ ］ 固．体力 学学 ，报 ０２ １２， ３ ３ ０（ ）５： ３ ０ ９ ３— １ ５．
ｎ ｇ Ｋ Ｓ， Ｌｅ ｅ Ｓ ， ＭＥ ｍ ｏ，Ｋｅ ｔ ａ １． Ｎ ａｎｏ ｅ ｃ ｍ ａ ｈ ｉ ｎ ｃａｌ 【 ｌ ］ ７ Ｈｗ ｍａｉ ｃ ｒ ｏ ｃａ ｔ ｎ ｉｌｅ ｖｅ ｒ ｏｐｅ ｒａｔ ｅ ｄ ｉ ｎ ｖｉｂ ｒａ ｔｉ ｏｎ ｍ ｄｏｅ ｓ ｗｉ ｈ ｔ ｓｕｅ ｏ ｆ
ＮＡ Ｒａ ｐ ｔ ａｅｍ ｒ ａｓ ｒｅｃ ｅ ｐ ｔｏ ｒ ｍ ｏ ｌ ｅｃｕ ｌ ｅ ｓ ｆ ｏ ｒ ｌ ａｂｅ ｌ — — ｒｆ ｅ ｅ ｄ ． ．ｅ
ｔ
ｅｒ － ｓｉ ｚ ｅ ｄ ｃ ａｎ ｔ ｉ ｌｅｖ ｅ （ ＰｒＥ ＭＣ ） ｅｓ ｎｓ ｒ ｓｏ ［Ｊ】 ． Ｓ ｅ ｎｓ ｏｒｓ ｎａ ｄ
Ａ ｔｃｕ ａ ｔ ｏ ｒｓ Ｂ， ２０ ０ ９ ， ４１３ １：４ ４～１ ５ １． ｍｕ ｒｄ ｇ ｏａｎ ，Ｅ ｌ Ａａ ｃ ａ Ｂ Ｅ， Ｋ ａｖ ａ ｋ ｌｉ Ｉ Ｈ， ｅ ｔ ａ１ ．ＭＥＳ Ｍｂ ｏｉ ｓ ｅｎ — 【 ４ ］ Ｔ ｉ
ｏ ｓ ｒ ｆｏ ｒ ｄ ｅｔ ｃ ｔｅ ｏ ｎｉ ｆｏ ｅＨ ａｐ ｔ ｔ ｉｉ ｓ Ａ ａｎ ｄ Ｃ ｖ ｉ ｒｕ ｓｅ ｓ ｉ ｎ ｓ ｕｅ【 ｒｍＩ ｌ
ｉＢｏ ｅｓｎｓ ｏ ｒｓ ａ ｎｄ Ｂｉ ｅｏ ｌｅ ｃ ｔ ｒ ｎｏｉ ｃｓ ， ２０１１ ，２ ８： １８９—１ ９ ４．
ｔ ｅ ｃｔｉ ｏ ｎ ｆ ｏ Ｈ ＣＶ ｈ ｅｌｉ ａｃｓ ｅ ［ Ｊ ］． Ｂ ｏｉ ｅ ｓｎｓ ｏｒ ｓ ａｎ ｄ Ｂｉ ｏ ｅ ｅ ｃ ｔ ｌｒ ｏ ｎ—
ｎ ｎａ ｄｕ ａ ｇｗ ｅ Ｌ Ａ ， Ｔ ｈ ｕｎ ｄａ ｔ Ｔ， Ｇｅ ｈｌ Ａ ，Ｗｉｌ ｏｓ ｎ Ｓ ，Ｄ ［５ ］Ｐｉ
ｉ ｓｃ， ２ ０ ０７ ２ ，３ ： ５４９ — ４ ６ ５．
下（转 ２ 第０）页
第１ 卷第 ５ ０期
２ ０１ ３ 年 １ ０ 月
纳
加米 工工 艺 Ｎ
ｎｏａ— ｐ ｏｒ ｅｃｓ ｓ ｉ ｎｇ Ｔ ｅ ｃｈｎ ｉｑ ｅ ｕ
Ｖｏ
１． １ ０ ｏ ．Ｎ５
Ｏｃ
ｔ ｂｏ ｅ ｒ ２ ０１ ３
４
０４ ．
ａｂ ｏｍ ｉｎ ｉ ｃ ｓ Ｌｕｏ ｕ ｒ［Ｊ 】 ．Ｍ ａｔ Ｒ ｅ ｓ Ｂ ｕ ｌｌ， ２ ０ １ １，４ ６： ７ ０１ —８
１ ７ １３ ．
［９］ Ａ ｃｓｅ ｎ ｉｃｏ Ｊ． Ａ
． Ｍ ， ｅｊｉ ａ Ｙ ． ， Ｌ ｉｕ Ｈ． Ｂ ， ｅ．ｔ ａ １． Ｂ ｉ ｏｒｅ ｄ ｕ ｃ ｔ ｏ ｎ ｉ ｓ ｙ ｎ ｈｔｅ ｓｉ ｓ ｏ ｆ Ｅ ｕ — Ａｕ ｎ ｎａｏ ｐ ａ ｒｔ ｉｃ ｌ ｅ ｓ ［ Ｊ １ Ｌ ａ．ｎ ｇ ｍｕ ｉｒ ，
２ ０ ０ ３ ，１９ ５ ８ ： ２８５—８ ８ ６ ．
［
１ ４】 Ｃａ ｔ ｓ ｏｒ Ｌ ． ， Ｌ ｉｕｓ ａ ．Ｂ Ｍ．， Ｇ ｏ ｎ ａｚｌ ｚｅ Ｆ ． １． ， ｅ ｔ ａ １． ｘ Ｅ ｒ ａ ｔｃｅ ｌ ｕ ｌ — ｌ
ａｒ ｂ ｉ ｏｓ ｙ ｎ ｔ ｈｅ ｓｉ ｓ ｏ ｇ ｏ ｆ ｄ ｌｎ ａ ｎ ｏｐａ ｒ ｔｉｃ ｌｅ ｓｕ ｓｉ ｎ ｓ ｕｇ ｇａｒ ｂ ｅｅｔ
［１ ０ 】 Ｋ ｕｍ ａｒ Ｖ ． ， Ｙ ｄ ａａ ｖ Ｓ．Ｋ ． ， Ｐｌ ｎ ｔ ａ－ｍｅ ｄ ａｉ ｔｅ ｄ ｙ ｎｓｔ ｈ ｅ ｓ ｉ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ａｎｄ ｇｏｌ ｄ ａ ｎ ｎ ｏ ｐａ ｒ ｉ ｃｔｌ ｅｓ ｎａｄ ｔ ｅｈ ｒｉ ａｐｐ ｉ ｃ ａｌｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ［ Ｊ］ ． Ｊ
Ｃｈｅ ｍ Ｔ ｅ ｃｈ ｏ ｎｌ Ｂ ｏ ｉｔ ｅ ｃｈ ｎｏｌ ， ０ ０２９ ， ８４ １ ： １—１ ５ ５ ．
７ ｕｐ ｐ ｌ ［Ｊ ． Ｃ ｈ ］ ｅｍ Ｅ ｎ ｇ Ｊ， ２０ １ ０ ，１ ６ ４ ９ ：２－ ７ ９．
者 作 介
［ １ 简１ 】Ｓ ｈ ａ ｋ ａｎｒ ． Ｓ ，Ｒ ｉ ａ Ａ ．， Ａ ｋ ａ ｎｍｗ ａｒ Ｂ ， ｅ ． ｔ １ ａ． Ｂ ｉ ｏｌ ｏｇ ｉ ｃ ａ ｌ ｓ ｙｎ — ｔ ｈ ｅｓ ｉｓ ｏ ｆ ｔ ｒ ｉ ａ ｎｇ ｕ ｌ ｒ ａ ｇ ｏ ｌ ｄ ｎ ａ ｎ ｏｐ ｒｉ ｓｍ ｆｓＪ ］ ． Ｎａ ｔ Ｍａ ｔ ｅｒ ，
２ ０ ０ ， ３ ４ ４ ８：２— ８４ ８．
吴凌 风（ １ ９ ８ 一 ８ ，），男族汉， 福建省漳州市人 ，士 硕研
生 ．主究 要研 领究域 为 米材纳 的 制 料 备和形 貌调 控
【１ ２ 】 ｉ Ｘｅ Ｊ ．， Ｌ ｅｅ ．Ｊ ． ， ＷａＹ ｇｎ ．Ｄ Ｉ． Ｃ ．， ｅ ａ ｌｔ １ ．Ｓ ｉ ｌ ｖｅ ｒ ｎａｎ ｏ ｐｌ ａ ｅｔ ｓ ：
维吴维（ １ ８ ７９ 一），女 ， 族汉，福建 省 漳州市 ，人硕士
研 究生 ．主要研 究领 域为 米材纳料 的 制 备 和分离 纯化 。
ｆ ｒｏｍ ｂｉ ｏ ｏ ｌ ｉｇｃ ａｌ ｔｏ ｂ ｉ ｏｉ ｍ ｍｅｔ ｉｃ ｓ ｙ ｎ ｔ ｈｅ ｓ ｓｉ［Ｊ ］ ＿ ＣＡ Ｓ ａ ｎＮｏ ，
２０ ０ ７ １ ：， ４２９— ４３ ９．
李
清
彪 （１ ９ ６ ３ ）一 男，， 汉 ，族 福建 省 厦市人门 教， 授 ，博 士 究生导 研师，主 要研 究 域领为 境环化 与工 生
物中 纳米 技术 ／
； ／； ／ ； ／ ； ／ ；／ ； ＼！ ／ ：
［
１ ３］ Ｎ ａ ｒ ｙａａ ｎ ａ ｎ Ｋ Ｂ ．． ，Ｓ ｋ ｔａ ｈ ｉ ｅｖｌ ． ，Ｎ Ｅ ｘｔ ｒ ａ ｃｅ ｌ ｌ ｕ ｌ ａ ｒ ｙｓ ｎｔ ｈ ｅｓｉ ｓ
ｏｆ ｓ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ｎ ｎ ａｏ ｐａｒ ｔ ｅ ｌ ｅｉ ｕ ｓｓ ｎｉｇ ｈ ｅｔ ｌｅ ａ ｆ ｘｅ ｒｔａ ｃ ｔ ｆｏ Ｃ ｏ ｌｅ ｕｓ
／
； ＼ ／！ ：＼ ：
／ ；
／；
／；
／
； ：／ ／ ： ／ ；
（ 上接
第９页）
Ｐ ｏ ｒ ｒ ｅｇ ｓｓ ｎ ｉ Ｄ ｖ ｅ ｌ ｏ ｐ ｅｍ ｅｎｔ ｏｆ Ｍ ｏｎ ｏ ｌ ｔ ｉｈｉ ｃ Ａ ｃｔｉ ｖ ｅ Ｐ ｉｘｅ ｌ ｅＤ— ｔ ｅ ｃ ｔｏ ｒ ｆ ｏｒ Ｘ ｒ— ａ ｙ Ａｓ ｔ ｒ ｏ ｎｏ ｍ ｙ ｗｉ ｈ ｔ Ｓ Ｉ ＣＯＭＯ Ｓ Ｔｅ ｃｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙｇ
８ ［１ 王超． Ｒ Ｆ Ｓ Ｏ Ｉ ＣＭ Ｏ 工Ｓ 艺器 件 仿 真 及 电 路 应 用 研究
［Ｄ ］ ． 海：上华 东师 范大学 ２，０ ０１．
者 简 介作
［ ］Ｊ Ｐ．ｈ ｙ ｓ ｉ ｃｓ Ｐ ｏｒ ｅ ｄ ｃｉ ａ ， ２ ０ １２， ７３： １３ ３ ７ — ３１８ ．０
ｃ ｋ ｓ ｏ ｎＴ ，Ｏ Ｂｕ ｌ ｚ ｃ ｃａｈ ｅｌ ｌ ｉ Ｊ Ｆ ， Ｆｒｉ ｅ ｄｍａ ｎ ＤＪ ．Ａ １ ２一 Ｇｂ ｓ ［ ／ 】 ６ Ｄ
１ｉ １ — — ｍ Ｗ ｈ ａ ｌ ｆ— ． ｒ ａｔｅ ａ ｓｐ ｍｌ ｅｄ ５ ． ｔ ａｐ ｄ ｅｃ ｉｓ ｉ ｎｏ ｅｏ ｄ ｂｆａ ｃ ｋ ｅ ． ． ｑ
ｕ ａｌｉ ｚ ｅ ｒｉ ｗｔ ｈ ｃ ｕ ｒ ｒ ｅｎ ｔ — ｉ ｎ— ｔ ｅｇ ｒ ａｔ ｉｎｇ ｓ ｍｍｅ ｒｕ ｓ ｉ ｎ ４ — — ｎ ５ｍ
张
剑
（ １ ９８ ７一 ） ，男 汉，族 陕， 西渭 南人 ，硕 士 究 研
ＳＯ ｌ Ｃ Ｍ０Ｓ ｔ ｅ ｃ ｎｈｏ ｌｏ ｇ ［ｙＪ ］ ．Ｓ ｏ ｌ ｄ ｉ Ｓ —ｔａ ｔ ｅ Ｃ ｉｒ ｃｕ ｔ ｓ ｉ ， ０ ０ ２ ， ４９４
ｆ ４１ ： １ ２ ８９ １—３ ０ ５ ．
生 ． 要主 研究领 域为 通 信集 成 路电 设 计。
商世 广 １ （９７ ５一 ）， 男，汉族 ， 河 信南阳人 ， 副 教 授，
硕 士研 究 导 师 生， 要研主究 域领为 纳微 电 材子料 器与 。
件［
７ 】 骆苏 ，华刘
卫
丽 张苗， ，等 ．Ｓ Ｏ Ｉ在频 电射路 的应 中用
ＩＪ Ｊ ．微 子 电， ２ 学 ００ ５ ３ ，５（ １ ） ： ６ — ７ ０７
．仝 ，： ；＼ ！ 仝： ， ； 、 ！ 舍 ：，； ＼ ！全 ： 合舍： 合 舍 ／ ： 、；： 金 金全！ ／ ； ＼ ： 舍 ！金 ／ ＼ ！；， ； ＼： 合 合 ｛合 ：／＼ ： ／ ； ＼ ！ 合／ ；＼ ！ 金 金： 仓 ／ ！ ＼；： 仓 ！／ ； ＼ ： 金 金／ ＼ ：！仓 ／： ： 、 合
（
上第接 １页３） 【
１ 】 ８Ｖ Ｓ ，Ｒ ａｊ ｏ ｙｒａ Ａ Ｐ， ａ ｎ ｔＰ， ｔ ａ １ ｅ ．Ｐｏ ｌ ｍｅｙ ｒ ｍ ｉ ｅｒ ｏ ｃ ｎ ｔａｉ ｅｌ ｖ ｅｒ
ｂ ｉ ｃｏ ｈｅ ｉ ｍ ｃ ａ ｌ ｓｅ ｎ ｓ ｏ ｒｓ ｗ ｔ ｉｈ ｉ ｎ ｅ ｇ ｒｔａ ｔ ｅｄ ｐ ｏ ｌ ｙｍｅ ｒ ｃ ｏｍｐ ｏ ｓ ｉ ｅｔｓ
ｎａ ｎ ｐｏａ ｔｒ ｉｃｌ ｅ ｐ ｒｏ ｂｅ ｓ Ｉｊ］ ． ｅ ｎ ｓＳ ｒｏｓ ａ ｎ ｄ ｃ Ａｔ ｕ ｔ ｏａｒ ｓ Ｂ，
２ ０ １ １ ， １ ６ ０ ： ５６０ － ６ ５ ．５
ｆ ｒ ｏｅ ｌ ｅ ｃ ｒ ｉｔ ｃ ａｌ ｄｅ ｔ ｅｃｔ ｉ ｎ ｏ 【 Ｊ ］． Ｓｏ ｌｉｄ Ｓ ｔａ ｔ ｅ Ｓ ｃ ｅ ｉｎ ｃ ｅｓ， ２０
９， ０ １１ １： ０６６ １ １１６
．作
简者 介
［ ９１ ］ Ｃａ ｌｌ ｅ ｊａ ，Ｍ Ｎ ｏ ｒ ｄ ｓｔ ｒ ｍ ｏ Ｍ ，Ａ ｌ ａｖ ｅ ｚ ｒ ， Ｍ ｔ ａ ｅ１ ．ｉ ｇ ｈＨ ｌ ｓｙ ｅｎ ｓｉ — ｒ
ｉｖ ｅ ｐ ｏ ｌ ｙ ｅｍ ｒ— — ｂ ａ ｓ ｅ ｄ ｃａｎ ｔ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ｅ—— ｓ ｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ｏ ｒｆ ＤＮＡ ｄ ｅｔｅ ｃ —－
刘 伟 （志１ ９ ８９ 一 ） ，男，汉族， 南湖娄省底市人 ， 硕士
研究 生．要主 研 领究域 为 物 检 生 测
。 ｔｉｏ ｎ ［Ｊ ］ ． Ｕ ｒ ａｈ ｍｉ ｃｒ ｏｓ ｃ ｏ ｙ ， ｐ２０ ０ ，５ １ ５ ：０２ １ ５— ２２ ２
ｈ．ａ Ｂ Ｈ ，Ｌ ｅ ｅ ＳＭ， Ｐ ｒａ ｋ Ｔ Ｃ ， ｔｅ ａ １ ． Ｄｅｔ ｅ ｃ ｔ ｉｏ ｎ ｏ ｆ Ｈｅ ｐ — ［ ２ ０ 】 Ｃ
童朝阳（ １９ ７ ２一 ） ，男汉，族 ，四川 省山市乐 ，人 研究 员博 ．士研究生 师 ，主导要 究领域 研为 物生传 与感 生物
检测。
ａ
ｉｔｔ ｉ ｓ Ｂ Ｖｉ ｒ ｕ ｓ Ｈ（Ｂ Ｖ ） Ｄ Ｎ Ａ ａ ｔｆ ｅｍ ｔ ｏｍ ｏ ｌａｒ ｃ ｏｎ ｃ ｅ ｎｔ ｒ ａｔ ｉ ｎ ｓ ｏｕ
ｓ
ｉ ｎｇ ａ ｓ ｉｌ ｉｃ ａ ｎ ｎａ ｏｐ ｒａ ｔ ｉ ｃｌｅ ｅ — ｈ ｎａ ｎ ｃ ｅ ｍｄ ｉ ｃ ｒ ｏ ａｃ ｎ ｔｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ
ｓ
ｅ ｎ ｓｏｒ ｌ Ｊ １ ．Ｂ ｉ ｏ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｓ ａ ｎｄ Ｂ ｉ ｏ ｅｌ ｃｅｔ ｒ ｏ ｎｉ ｃ ｓ ２ ，０ ０ ９，２ ５ ：
１ ０３ — １ ５３ ．
张 平 ｆ金 ９ １７ ８一） ， 男 ，汉族， 东山省 平度人市 硕，士 研 究 生 ．
理助研 究 员，主要研 究领 域 为生 物 测 检。 郝群 兰 １ （ ９ ７０ ）一， 女 汉 族 ，， 河北 省 衡 水市 人 ，本 科 ．
工程 ，师主要 研 领 究 为域生 物 检 。 测
［ ２
１ ］
Ｍａ
Ｌ ｉ ｙｕａ ｎ， Ｗ ａｎｇ Ｃ ａ ｈ ｍｉｏ ｎ ，ｇ Ｚｈ ｎ ｇａ Ｍ ｎｉ ｇｈ ｕ ｉ．ｅＤ ｔｅ ｃ ｉｔｎ ｇ ｐ ｒｏ ｔ ｅｉ ｎ ａ ｄ ｓ ｏｒｐ ｔ ｉ ｎ ｏ ａ ｎ ｄ ｂ ｎｉｄ ｉ ｎｇ ｕ ｓ ｉ ｎ ｇ ａｍｇ ｎｅ ｔ ｉｃ
第 １０卷 第５ 期２
０ １３年 ０１ 月
纳 器米 件与 技 术
Ｎａ ｎｏ ｄｅ ｉｖ ｃ＆ ｅＴ ｅｃｈ ｎ ｏ ｌ ｏｇｙ
ｏ １Ｖ． １ ０ Ｎｏ ５． Ｏ ｔｃ ｂ ｅｏ ｒ ２ １０３
微悬
臂梁传 器 工作模式理论感分研究
析志伟刘 童朝 阳，，金张 平 郝，兰 群
（防化 研 院究国民核 生化灾 害防护 国家重 点 实 验室，北 京 １０ ２ ２ ０ ５ ）
摘
要：简要地介 了绍微悬梁臂传感的器工作原和理要特性 主，着介 绍了微重悬 梁臂传器感动 、
静 态工作模 式下的理 论分 析方 法 和 高灵提 度 的敏主 要 方 法微 悬。臂 传梁 感器 动 在态 ．７ －作 式 模下 敏 度灵 极高 但 在， 态环 境 下使液 用易受到 液 阻尼体效应 的 响 ，影 适 只在 于空 气运中行 使 用； 相
对 于动 模 式态， 静态模 式受液 体黏 性 的影响 小较，更 适 于在液 态中使 用。 关键 词 微 ：悬臂 梁传感 器 ；作 工 式 模；论理 析 ；分灵 敏 度； 影 因响素
Ｒｅ ｓｅ ａｒ ｈｃ ｏ ｎ Ｔｈｅ ｏ ｒ ｅｔｉ ｃ ｌａ Ａ ｎ ｌａｙ ｓ ｓ ｉ ｆｏ ｐ Ｏｅ ｒａ ｔ ｎｇ ｉ
Ｍｏ ｄｅｓ ｏ ｆｒ】Ⅵｉ ｃ ｒ ０一 ｃａ ｎ ｔ ｉ ｅ ｖ ｅｌｒ Ｓｅ ｎ ｓ ｏｒ
Ｌ Ｕ ＺＩｈ —ｉ ｗ ｅｉ Ｔ， ＮＧ Ｏ Ｚｈ ａ － ｙｏ ａｎ ｇ，Ｚ Ｈ ＡＧ Ｎ ｉ ｎ － ｐＪ ｉｎ ｇ ＨＡＯ， Ｌ ａ ｎ － ｑｕ ｎ
（
Ｓ ｔ ａｔ ｅ Ｋ ｅ ｙ Ｌ ａｂ ｏ ｒａ ｔ ｒ ｏ ｙｏ ｆ Ｎ Ｃ Ｂ ｒ Ｐ ｏ ｅ ｔ ｃ ｔｉｏ ｎ ｆ ｏ ｒＣ ｉ ｖ ｉ ｌ ｉａ ｎ， Ｒ ｓｅ ｅ ｒ ｃａｈ Ｉ ｎ ｔ ｉｓ ｔｕ ｅ ｔ ｆｏ Ｃ ｅ ｍｉｈｃ ａ ｌ Ｄｅ ｅｆ ｎ ｅ ， ｃ Ｂｅｉ ｊｉ ｎ １ｇ ０ ２ ２ ０ ５，Ｃ ｈ ｉ ａ ｎ）
Ａ ｂｓ ｔ ｒ ｃ ａ ｔＴ ｈ ： ｗｏ ｅ ｋｒ ｉｎ ｐｇ ｎ ｒｉ ｉ ｐ ｃ ｅｌ ｎ ａ ｄｍ ｉａｎ ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｔ ｅ ｉ ｒ ｓ ｃ ｔ ｃｉｓ ｏ ｆ ｉｍ ｒｃ ｏ －ｃ ａ ｎｔ ｉ ｌ ｖｅ ｒ ｓ ｅｅ ｎ ｓｏ ｒｓ ａ ｒ ｅ ｉ ｎｔ ｒ ｄｏｕ ｃｅ ｄ ｅ ， ｐ ｅ ｓ ｉ ｃ ｌａ ｙ ｌ ｔ ｈ ｅｏｒ ｅ ｔ ｉ ａ ｌ ｃ ａｎａ ｙ ｌ ｉ ｓｓ ｆ ｏ ｍ ｉｃ ｒｏ ｃ ａ—ｎ ｔ ｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ ｓ ｅ ｎｓ ｏ ｒ ｉ ｎ ｙ ｄ ｎ ａｉｍｃ ａ ｎ ｄ ｓ ｔ ｔａ ｉｃ ｏｐ ｅ ｒ ａ ｔ ｉｎ ｇｍｏ ｄ ，ｅａ ｎ ｄｔｈ ｅ ｐ ｉｍ ｒ ａ ｙｒ ｍｅｔ ｈ
ｏ
ｄ ｔ ｏ ｍｉｐｒ ｏ ｖ ｅ
ｔ
ｅ ｈ ｓ ｅｎ ｓｉ ｔｉ ｖ ｉ ｙｔ ａｒ ｅ ｄ ｓ ｉ ｃ ｕ ｓ ｓ ｅ ｄｓ． Ｉ ｎ ｔ ｅｈ ｄ ｎｙ ｍｉａ ｃ ｏｐｅ ｒ ａ ｔ ｉｎ ｇ ｏ ｄｍｅ ， Ｍｉｃ ｒ ｏ－ ｃ ａ ｎｔ ｌｉ ｖ ｅ ｅ ｒ ｓ ｅ ｓ ｎｏｒ ｈ ａ ｓ ａ ｈｉ ｇｈ ｓ ｅ ｎ ｉｓ ｔｉｖ ｉ ｔ ｙ， ｂ ｕ ｔ ｉ ｔ ｉ ｓ
ｖ ｕ ｌｎ ｅ ｒａ ｂ ｌｅ ｔ ｏ ｔ ｈ ｅ ｄａ ｍｐｉ ｇｎ ｅ ｆ ｆ ｃ ｔ ｅ ｏ ｆ ｔｈ ｅｌ ｉｑ ｕｉ ｄ． Ｔｈｕ ，ｓｔ ｈ ｅ ｏ ｐｅ ｒａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓｉ ｏ ｌ ｙ ｎ ｕ ｓ ｉｔａ ｂ ｌｅ ｆ ｒ ｏ ｓｕ ｅ ｎｉ ｔ ｅｈ ａ ｉ ．ｒ Ｃ ｏｍｐ ａ ｒ ｄ ｅ ｗ ｉｔ ｈ ｔ ｈ ｅ ｙｄｎ ａ ｍ ｃ ｉ ｏｐ ｅ ｒ ａ ｔｉ ｎ ｇ ｍ ｄｏｅ ，ｓ ｔ ｔ ｉａ ｃ ｏ ｐ ｅｒ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ｍｏｄ ｅ ｉ ｓｍｏ ｒ ｅ ｓ ｕｉ ｔ ａ ｂ ｌｅ ｆ ｏ ｒ ｉ ｒｓ ｅ ｉ ｎ ｔ ｈ ｅ ｌｉ ｑ ｉｕ ｄ ｂ ｅｃ ａ ｓ ｕｅ ｏ ｆ ｌ ｅｓ ｓ ｉ ｎｌ ｆ ｕ ｅ ｃ ｅｎ ｓ ｒ ｓ ｕ ｅ ｅｈｄ ｆ
ｒｏ ｍ ｔ ｅｈ ｖｉ ｓ ｃ ｏ ｕ ｓ ．
Ｋ ｙ ｅｗｏ ｒｄ ｓ ： ｍｉ ｃ ｏ ｒ —ｃａ ｎｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅｒ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏｒ ； ｏ ｅｐ ｒａｔ ｉ ｎｇ ｍ ｄｏｅ ｓ ； ｔｈｅ ｏｒ ｅｔ ｉ ａ ｌ ｃ ａ ｎａｌ ｙ ｓｉ ｓ； ｓ ｎｅｓ ｉ ｔ ｉ ｖ ｉｔｙ ； ｉ ｎ ｌ ｆｕ ｎｅ ｃ ｉｎ ｇ ｆａ ｃ ｔ ｏｒｓ
中图分 类
号 Ｔ Ｐ ２ ： １２． ９
文
献 标识码 Ａ：
文编章号 ： １８ ２１— １ １９８ ２ ０（１ ３） ０５ —０ ０ １ ０ —０５
０ 引 言
由于微 臂悬梁感器传具体有积小 灵、度高敏 、 需不记标、 阵列可等优化点，在 发微型展化、集 化 、智成能化方面具有很大 等优的势 成为，年
近目前， 以 悬臂 微传梁 感 为基 器础 的各种 生
分化子 检测 究研已经成 为 生化 检 测领 域重的 研点究
方 向。而然 对 于微 悬 ，梁臂传 器 上感发 生生 的 反化 应 何 如引 起微悬 臂梁 弯 的 曲 或 （振谐 频 率 的改
变
研究还较）少 在现阶。 ，微段悬梁臂感传器
的 、动静态作工式模均不同的有论理模及型研究方 法 。本文主要概了括微臂悬梁传感 器的作工原理 和主要特性 ． 着重介绍了悬微梁传感器动臂 、静 态作模工式下 的论分析
理
方法提和高敏度的主
要灵方法
的究研点热，并 广用于抗泛 原 【”、 ＤＮ ｔＡ２ 、细菌１闭、
病毒 ［４ １ 、化学毒 及爆炸物 、物生分物子构象变化 ｆ
ｉ ］
湿、度阎 流、 速、热量 【 ｏｌ 诸多检等测领 域 。收 稿
日期 ： ２０１ －３ ０ ９ — ３１
ｌＯ
第 １
０卷第 期５
２０ １３ １年０月
纳
米器 件技 与 术
ａＮ ｎ ｏ ｅｄｖ ｉ ｃｅ ＆Ｔ ｅ ｈｃｎ ｏ ｌ ｇ ｏ ｙ
０ ｌ Ｖ ＿１ ０ Ｎ ｏ ５ Ｏｃ ｔ ． ｏｂ ｅｒ ２０ １３
时，ｉ
＝
ｆｉ＋ ＝ （ 、／ 【 者 ［］ １４ ‘
］（
９ ）
由是 表于 面 结 合 子分引 起的 谐 振 率频改 变，△ 是 所 合 结分子 总 质量 的．。『 由是分 于子结
图３微 悬臂 梁 态动 式模工作 原 理
合引起
生分子物相互间作产生用的表面力 应 。 由 （ ５ ） （、６ ） （、 ７ 式）可知 ， 微悬臂 梁质 一 量定 、
合结同 样标 分子目的 情况 下 ，微梁 长 ，越 其（
）３
刚度 改 变的 是均 的匀） ： Ａ Ｕ ＝ （ 一 ）
率 频化 值变 大越，微悬 臂 的梁 敏灵度 越 也 。高 悬微臂 梁传 感器 在 态动 作工 模 式下灵敏 度极
悬
臂 谐 振 频梁 率随 悬 梁臂质 量的 增 而加减 小 ， 悬臂随 梁弹 性系 数增 加 而增 的 加。 前 大 多目
高， 但液态环境下在用使受到液体易阻效尼应 的 影，只适于响空气中运在使用行，相 对动于模态
式静， 模态 受 液式体黏 性 的 影较响小 ，更 适在于 态液 使 中 。用
数的报
认道悬臂为谐振梁率的频化主变是要由 于分 子结＼ ７合 、引 Ｉ起 的质 量增加 ， 质量 变 改 相对使 弹性
系 数 改 变对，悬 臂 梁 振 谐 率频 的变 化占 主导 作
用，因 ，此上中式性弹数项系忽可略，谐振频
率变化公 可简化式为 ：
ｍＡ一
４
提灵敏 高的度要方主 法 ４． １ 优化微 臂悬梁何结构几
由ｓｔ ｏ ｎ ｅｙ方 程＿ ２ｌ＿ 可 知微 。 悬臂梁 的 弯 曲大小 与 微悬 臂梁 的 度及长厚 有度关 与 。长其 度 平的 方正 比成， 与厚其度 的平 方成反 比因，此 ，理论上
＿
（
） ４
由
（ ） ４式可 ，知微悬梁谐振臂频 的率变化 未结与合目 标分 时子 的固有频率 质量及增加 正 成比 与未结合 ，目分标时微子的梁量质成 比，反 因 此若，在证保微梁表积大面小变不能结而上同合 多的样标目分的情子下况 ，微梁制作的越 ，其 薄 未合结 标目分时固有频率越
子大 、质量越小 微 ． 梁也 灵 更敏 。 但最 近研有究报道表 明 ， 谐振率频的 化 主要变是由生物分子间相于互用诱作 导的面
应表 导力致 刚 度变 化 引而 ，总起的 量 质 改 引起变 频 率 变化 是不主 。 由分子因间 作 用引 起的 表应 力面 可 下面用这个 公式 来估 算 ：
来说 ，
微悬臂梁 长的度长 ，越度越厚 ，薄灵其敏 越度高。而然，目前制 作微臂悬梁 技的而言 ，
过 长和术过 薄会 导致 微悬 臂 梁容 易裂断 因， 此保 在 证 微悬 臂梁 固的前 牢提 ．加下 大 微悬 臂梁 长 度与 厚 的度相 比值对 以可显著增加 其 敏灵度。
４． ２使 杨用 氏模量 更 的材料低
除 用 硅、氮 硅 化和 氧二化 等硅 硅材 制料作微
ｊ ｉ
丁 ：
【 Ｌ孚 ２ （ ）筝Ｊ＋ （ 筝 ２ ）］
１
５ （
）（６ ）
悬
梁 ，还臂可 应 用杨氏 模量 更低 的 聚物高 材来 料
备制 杨微氏模 量只 有硅 材 料的１ ／ ４０ ，由ｓ ｔ ｏｎ ｅｙ
方
丁 。 是单位 长 度微每悬臂 梁 的 弯曲载荷 ，
丁ｏ ＝ ｝
程＿
ｌ ２ ］ 知 ，可 氏模杨降量 低，敏灵提度 。高相悬对 臂 梁 ，分部文【 献１８ Ⅱ ９ 应］用由 ｓ ｕ 一 ８料材制的微悬
臂 作梁来检 测 目标 物 由 Ｓ。 一 ８Ｕ 作 制的 微 臂悬 梁适 于氮 化 等硅 料 ，而对材Ｐ Ｈ 、 酸 度 碱 等化 学物 质 相 应 不 感敏，在很 多场 合下 以更可 地 消 除 好本底 噪音 但． 制 工造还艺不 是很 熟成 应，用 不多 。
４ ３．纳 米料材的 信号 放大
为占悬梁臂的抗弯刚 ， 度 悬臂梁为长的度。 ｆ
表可示 为 ：
＝
（ ） 、 ／
（
７）
（ ８ ）
为
悬梁臂的有质效量。 Ａ
满 先足 验 程 方 ：
ｃ ｏ ｓ Ａ ｉ ｏｃ ｓｈ Ａ ＋ １ ０ ＝
微在臂悬梁面结表合分子引而频起变率化至 １
２
纳 米料可材 增加以微悬梁 臂检的测敏灵度。
第
５ 期
２ ０ ３年１ｌ ０月
纳
米 科技
ｏ ． ５ Ｎ Ｏ ｔｃ ｏｅｂｒ ２ ０１ ３
Ｎ
ａ ｎｏｓ ｃｉ ｅ ｃｎ ｅ Ｎ＆ ａｎｏ ｔｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇｙ
前 。已目研有究Ｉ ２者０ Ｎ￣硅用纳米子修饰粒的 ｃ — Ｄ Ｎ Ａ 成形疫免合物来检复测Ｈ Ｂ Ｖ（ 乙型肝 病炎毒 ）
Ｄ Ｎ的Ａ 检 测， 灵敏 度达 到２ ３ ． １ ｆ Ｍ一 ２ ３．１ Ｍ，ｎ 比不
Ｈｅｄ ｄ ｅ ｎ ＤＬ， Ｌ ａ ｒ ｅ ａｕ Ｒ ．ＴＤ ｅ ｏ ｒｓ ｐｔ ｉｏ ｎ ｃ ｈａ ｒ ａ ｃｔ ｅ ｒｉ ｓｔ ｉ ｃ ｓ ｏ ｆ ｕ
ｎ ｏ ｃａ ｔ ｅ ｄｓ ｉ ｌ ｉｃ ｎ ｏ ｉ ｍｃｒ ｏ ｃ ｎ ｔａ ｌ ｉｅ ｖｅ ｒ ｓ ｕ ｒ ｆａ ｃｅｓ ｏ ｆｒ ｅ ｘｐ ｌｏ ｓ ｉ ｖ ｅ
ａ ｄｎ ｃ ｏ ｍｍｏ ｎ ｎ ｏ ｎｅ ｘ ｐ ｌ ｏｓｉ ｖ ｅ ｖ ｐａｏ ｓ［ｒＪ ］ ． ｌ ｔＵｒ ａ ｍ ｉｃ ｒ ０ｓ ｃ 叩 ｙ，
２ ０ ４， ０１０ ０ ： １２ １ －２ １ ．６
纳米用粒 子 免疫 复 物合 检测的灵 敏 度 提高 了 ２—３ 个 数量级 。 ４ ． ４ 磁力大 加 弯 曲 在 用 纳 利米材料 修饰 的抗体 与 原形 成抗免 疫
６ ［】
Ｐ ｎｎ ａ ｉｄ ｗｕ ｇ ｅ Ｌ ａ，ＡＰｉ ｎｎ ａ ｄｕ ｗ ａ ｇ ｅ ＡＬ， Ｗ ｇｉ Ａ， Ｈｅ ｄ ｄｅ ｎ Ｄ
． ｅＬ ｔ ａ １ ． ｅ Ｄ ｔｅｃ ｔｉ ｏｎ ｏ ｆ ｔ ｒｉ ｎｉ ｔ ｒｏ ｔｏ ｌ ｅ ｕ ｅ ｎ ｖ ａｉ ｅ ｄ ｌｆａ ｇ ｒ ａｔ ｉｏｎ ｏ ｎ ａ
ｍ
ｃｉｒ ｏｃ ａｎ ｔ ｉｌｅ ｖｅ ｒ【Ｊ ］ Ｊ ＿ｏｕ ｒ ａｎｌ ｏ ｆ Ａ ｐｐ ｌ ｉｅ ｄ Ｐ ｈ ｙ ｉｓ ｓｃ，
２０ ０， ４ ５９ ： ５８７ １— ５ ８ ５７ ．
Ｍ
ｕｋｈ ｏ ｐ ａ ｈｄ ａｙ ｙ Ｒ ，Ｓ ｍｕ ｂ ａ ｅ ｖｙ Ｖ， Ｌ ｏ ｒｅ ｎ ｚ ｅｔｎ Ｍ ， Ｋ ｊ ｍｓ ｅＪ ，
Ａ ｄｎ ｒｅ ａ ｓ ｎ ｅ Ｐ ，ＡＢｅ ｓｅ ｎ ｂａ ｃ ｅｈ ｒ Ｆ．ａＣ ｎ ｔｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ ｓｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｏｒ ｆ ｎ ｎａｏ ｍ ｅｃ ｈ ａｕｉ ｃ ａ ｌ ｅｄ ｔｅ ｔ ｃ ｏｉｎ ｏ ｆ ｓ ｐ ｅ ｃ ｉｉｆ ｃ ｐ ｒ ｏ ｔ ｅ ｉ ｎｃ ｏ ｎｏ ｒ ｆ ａ ｍ —
复合将物号放大信的础上基 ，可还通过结对上
的合纳米材 施料加 力来 大增悬臂 梁 弯 曲的。有 究研 者 ２ ｌ 【＿利 用磁性 四 氧化 铁 纳三米 粒 修饰 子的抗体 与 抗 形原成 疫免 合复 物 测 检 Ｐ ＡＳ（前 列 腺特 异 性抗 ）原 磁．性 氧 四 化 三铁纳 粒米子 免疫 复 合物 在微 臂悬 梁 表 形面 成后以 用， 一块 径 直为２ ｃ ｍ 的 圆 柱形永久 铁磁在微距臂悬 约梁５ Ｉ０ ｘ ｍ的地 方 加 大 微 悬臂 梁的 弯曲 结果 。 示 显， 在 ＰＳ Ａ 为同
０ ． ４ ｎ ｇ ｍ ／的情 Ｌ 况下 ．由 磁 场于 对 性 磁纳 米粒子
ｔ
ｉ ｏ ｎｓ ［ ］ ． Ｊ ａ ｎＮｏ Ｌｅｔ ｔ ｅｒ ｓ ，２ ０ ０ ５ ， ５ ２ ：３ ８ —５ ２３ ８８ ． ［８ ］ ｈＳｉ Ｘ ａｉ — ｏＬ ｅｉ ， Ｃ ｈ ｅ ｎ
Ｑ ｉ， Ｆ ｎ ａｇ Ｊ ，ｉｅ ｔ ａ １ ．Ａ １ ２ ０３－ ｃ ｏ ａｔ ｅ ｄ ｉｍ— ｃ ｒ ｏ ｃ ｎ ａｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅ ｒ ｓ ｆ ｒ ｏ ｄ ｅｔ ｃ ｅｔ ｉ ｏｎ ｏｆ ｍｏ ｉ ｓ ｔ ｒ ｅ ｕ ｔ ａｐ ｐ ｍ ｌ ｅ ｖ ｅｌ［ Ｊ ］ ．
Ｓｅ ｓ ｏｎｒ ｓ ａ ｎ ｄ Ａｃ ｔ ｕ ａｔｏ ｒ ｓ Ｂ ，２０ ０８ ， １２９ ： ２１—４ ４２５ ．
【
］９ Ｚ ｈ ａ ｎ ｇ Ｑ ｉ， Ｒ ｕ ａ ｎ Ｗ ｎ — Ｚｅｈ ｏ ｕ， Ｗ ｎａ ｇ ａＨｎ ｅ，ｔ １ａ． Ａ ｓ ｅ ｆ —
ｂｌ ｅ ｄｎ ｄｅ ｐｉ ｅ ｚ ｒ ｅｏｓ ｉｓｔ ｉ ｖ ｅ ｉｍ ｃｒ ｃ ａ ｎｏ ｔｉ ｌ ｅ ｖ ｅ ｒ ｌ ｆ ｏｗ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｏｆ ｒ
ｌ ｏｗ ｌ ｆ ｏ ｗ ｒａ ｔ ｅ ｍｅａ ｓｕ ｒ ｍ ｅｅｎ ［ Ｊｔ］ ． Ｓｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ａ ｎ ｄ Ａ ｃｔ ａｕ ｔｏ ｒ ｓ Ａ，
２ ０ ０１ １ ５，８ ：２ ７３ — ２ ７９ ． ｃｈ ｅｌ ｓ Ｔ Ｔ， ｉ ｆ ｅ ｅｎｂ ｃ ｈａ ｒｅ Ｆ ，Ｓ ｃｈ ａｆ ｅｒ Ｒ．Ｃｏ ｎ ｄ ｎ ｅ ａ ｔ ｓ ｉｏｎ ｏｆ ［ １ ０］ ａ
Ｂ 引而吸引起 的 输 电出压加大 ４ ． 了３ 倍 。
ｉ
ｓｏ ｌ ａ ｔ ｅ ｄ ｍ ｔｅａ ｌ ｃ ｌ ｓｕ ｔ ｅ ｓｒ ｓ ｔｕ ｄ ｉ ｅｄ ｗ ｉｔ ｈａ ｃ ａ ｌｏ ｒｉ ｍｅ ｔ ｅ ｒ［ Ｊ Ｊ．
Ｊ ｏ ｕｒ ｎ ｌ ａ ｏ ｆ Ｃ ｈ ｅｍｉｃ ａｌ Ｐ ｈｙ ｓ ｉ ｃ ｓ ， ９１９ ９ １ ， １ ０ ： １０ ０ ８０１—０ １ ０ ５．
结５语
文简本地概要 了括微臂悬传梁感的器工作原
理 、主 要特 性着， 重 介绍了 悬微臂 梁 感 传器动 、
Ｊ ｏ ｈｎ ｏｓｎ Ｂ Ｎ， ｕＭ ｔ ａ ｈｒ ａｓ ａ ｎ Ｒ ．Ｂｉ ｓｏｅ ｎ ｓｉ ｎ ｇ ｕ ｓ ｉｎ ｇ ｙ ｎｄ ａｍ—
ｉ ｃ —ｍ ｄｏｅ ａ ｃｎｔ ｉ ｌｅ ｖ ｅｒ ｓ ｅ ｎ ｓｏ ｒｓ ： Ａ ｒ ｅ ｖ ｅｉｗ［ Ｊ］ ．Ｂ ｏ ｉ ｓｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ｎ ｄａ
…
Ｂ
ｉ ｏ ｌ ｅ ｃｅｔ ｏｒ ｉ ｃ ｓｎ， ２１ ０ １． Ｓ Ｔ ＯＮ ＥＹ Ｇ Ｇ． Ｔｈ ｅ ｔｅ ｓｎｉ ｏ ｎ ｏ ｍｅ ｆ ａｔ ｌ ｌ ｉｃ ｉ ｆ ｌｍ ｓ ｄ ｅｐ ｏ ｓ ｔ ｉ ｅｄ
ｂ ｙ ｅ ｅｌ ｃ ｔｒ ｏ ｙ ｓｌ ｓ［ ｉＪ］ ． Ｐ ｒ ｃｏ ｅ ｅｄ ｎｉ ｇ ｓ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｏ ｙ ａＲｌ Ｓ ｏｃｉ ｅ
ｔ
ｙ ｏ ｆＬ
ｏ ｄ ｎｏ ｎ ｓ ｅｒ ｉ ｅ ｓ — Ｃｏａ ｎ ａｔｉ ｎ ｉｎｇ Ｐ ｐａｅ ｒｓ ｏ ｆ ａ Ｍａｔ ｈ ｅｍ ｔａ ｃｉａ ｌ
静态工作
式模下的论理分方法析以提及高敏灵度 的
主要方 。 法
参考 文献
ｕ Ｗ Ｇ Ｈ Ｊ ， ｉ Ｈ，ＦＨａ ｎ ｓ ｅｎ ， ｅ Ｋ ｔ １ ． Ｂ ｉａ ｏ ｓ ａｓａ ｙ ｏ ｆ ｐｒ ｏｓ ｔ ａ ｔｅ —
ａ ｎ ｄ Ｐｈ ｙ ｉｓ ｃａ ｌ Ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｃｔ ｅ ， ｒ１９ ０ ９， ８ ２（ ５５ ３） ： １７ ２ － ７１ ． ５
［ １ ３】 柏张林， 潘青宏．微 臂悬梁 列在 阵子电及鼻 生传物感
中
应的［ Ｊ用 ］．黑 江龙 学 大自然科学 报学， ２ ０ １１， ２ ８（ ０ ５ ）： ６
７６— ８６９ ．
ｒ ｅ ｉ ｇｎ Ｄ Ｗ Ｔ，ｈ ｕ ｎ ｄａ ｔ Ｔ． ｉ Ｓｕｍｌ ａ ｔ ｏ ｎｉ ｆｏ Ａｄ ｓ ｏｒ ｐ ｔ ｉｏ ｎ ｎ Ｉ— ［ １ ４］ ａＤ
ｓ ｐ ｅ ｃｉｉ ｆｃ ａ ｎ ｔ ｉｇ ｎｅ（ ＰＳ Ａ ）ｕｓ ｉ ｎｇ ｍ ｃ ｉ ｏｒ ｃａ ｎｔ ｉ ｌ ｅ ｖ ｅ ｒ ［ｓＪ ］ ． Ｎ ａ ｕ ｔ ｅｒ
Ｂｉ ｔｏｅ ｃ ｈｎ ｏ ｌｏ ｇ ，ｙ ２ ０ ０１， １９ ： ８ ６５ － ６ ８ ． ０ｌ ｉｃ Ｂ ，ａ Ｙｎｇ Ｙ， Ａ ｕｂｉ ｎＫ， ｅ ｔ ａ １ Ｅｎ．ｕ ｍ ｅ ｒａ ｉｔ ｎ ｏ ｏ ｆ Ｄ ＮＡ ［２ ］ Ｉ
ｄ
ｕ ｃｅ ｄ Ｓ ｔ ｒ ｅ ｓ ｓｏ ｆ ａ Ｍ ｃ ｉ ｏｒ － ｃ ａｎ ｔｉｌ ｅ ｖｅ Ｓ ｅ ｎ ｓｒ ｏｒ［ Ｊ ］． Ｊ ．Ａ ｐｐ １．
Ｐ ｈ ｙ ｓ ， ２０ ０５ ９ ，７（ ４ ） ３ ：５２ ６ — １ ３— ５ ２６ — ５．
［ ５ ］ １ 景 大， 王 飞，雷 赵 学增， 等 ．压 微电悬臂 梁气 体感传 器
ｍ ｏｌ ｅｃ ｕ ｅ ｓ ｂｌ ｏ ｕｎｄ ｔ ｏ ａ ｎａ ｎ ｏ ｍ ｅ ｈｃａ ｎ ｉｃ ａ ｌｏ ｓ ｃｉ ｌ ａ ｌｔ ｏｒ［ ］ ．Ｊ Ｎ
ａ ｎ ｏＬ ｅ ｔｔ ｅ ｒ ｓ ２， ０ ０５， ５：９ ５—２ ２ ９９ ． ．Ｓ Ｍｎ ｔ ｈ ａ ａｒｓ ｎ ａＲ．Ａ ｎｏ ｖ ｅ ｌ ｅ ｔ ｈ ｏｍｄ ｆ ｏ ｒ ｍ ｏｎ ｔｉｏ ｉｒｎ ｇ ［ ３］ Ｘｕ ａｍ ｓ ｓ — ｃｈ ａｎ ｇ ｅ ｒ ｅ ｓ ｐ ｏ ｎｓ ｅ ｏｆ ｐ ｉｅ ｚ ｅｏ ｌｅ ｃｔ ｒ ｉｃ ｅ—ｘ ｃｉ ｔ ｅｄ ｍ ｌ ｌ ｉ ｍｉ — ｅ
态静弯模 曲的型 究研『Ｊ １ ．传 感术技 学 报 ， ２０１ １ ， ２ ４ ０ （５
）
６： ９－２６３３ ．
王
飞，王晓明 等． ，考虑中性 层位置 变 化微 ［ 的１６ 】 景雷 ，大
悬 臂梁气传感体器 静 态 模的型分 ｆ析Ｊ ］ 固．体力 学学 ，报 ０２ １２， ３ ３ ０（ ）５： ３ ０ ９ ３— １ ５．
ｎ ｇ Ｋ Ｓ， Ｌｅ ｅ Ｓ ， ＭＥ ｍ ｏ，Ｋｅ ｔ ａ １． Ｎ ａｎｏ ｅ ｃ ｍ ａ ｈ ｉ ｎ ｃａｌ 【 ｌ ］ ７ Ｈｗ ｍａｉ ｃ ｒ ｏ ｃａ ｔ ｎ ｉｌｅ ｖｅ ｒ ｏｐｅ ｒａｔ ｅ ｄ ｉ ｎ ｖｉｂ ｒａ ｔｉ ｏｎ ｍ ｄｏｅ ｓ ｗｉ ｈ ｔ ｓｕｅ ｏ ｆ
ＮＡ Ｒａ ｐ ｔ ａｅｍ ｒ ａｓ ｒｅｃ ｅ ｐ ｔｏ ｒ ｍ ｏ ｌ ｅｃｕ ｌ ｅ ｓ ｆ ｏ ｒ ｌ ａｂｅ ｌ — — ｒｆ ｅ ｅ ｄ ． ．ｅ
ｔ
ｅｒ － ｓｉ ｚ ｅ ｄ ｃ ａｎ ｔ ｉ ｌｅｖ ｅ （ ＰｒＥ ＭＣ ） ｅｓ ｎｓ ｒ ｓｏ ［Ｊ】 ． Ｓ ｅ ｎｓ ｏｒｓ ｎａ ｄ
Ａ ｔｃｕ ａ ｔ ｏ ｒｓ Ｂ， ２０ ０ ９ ， ４１３ １：４ ４～１ ５ １． ｍｕ ｒｄ ｇ ｏａｎ ，Ｅ ｌ Ａａ ｃ ａ Ｂ Ｅ， Ｋ ａｖ ａ ｋ ｌｉ Ｉ Ｈ， ｅ ｔ ａ１ ．ＭＥＳ Ｍｂ ｏｉ ｓ ｅｎ — 【 ４ ］ Ｔ ｉ
ｏ ｓ ｒ ｆｏ ｒ ｄ ｅｔ ｃ ｔｅ ｏ ｎｉ ｆｏ ｅＨ ａｐ ｔ ｔ ｉｉ ｓ Ａ ａｎ ｄ Ｃ ｖ ｉ ｒｕ ｓｅ ｓ ｉ ｎ ｓ ｕｅ【 ｒｍＩ ｌ
ｉＢｏ ｅｓｎｓ ｏ ｒｓ ａ ｎｄ Ｂｉ ｅｏ ｌｅ ｃ ｔ ｒ ｎｏｉ ｃｓ ， ２０１１ ，２ ８： １８９—１ ９ ４．
ｔ ｅ ｃｔｉ ｏ ｎ ｆ ｏ Ｈ ＣＶ ｈ ｅｌｉ ａｃｓ ｅ ［ Ｊ ］． Ｂ ｏｉ ｅ ｓｎｓ ｏｒ ｓ ａｎ ｄ Ｂｉ ｏ ｅ ｅ ｃ ｔ ｌｒ ｏ ｎ—
ｎ ｎａ ｄｕ ａ ｇｗ ｅ Ｌ Ａ ， Ｔ ｈ ｕｎ ｄａ ｔ Ｔ， Ｇｅ ｈｌ Ａ ，Ｗｉｌ ｏｓ ｎ Ｓ ，Ｄ ［５ ］Ｐｉ
ｉ ｓｃ， ２ ０ ０７ ２ ，３ ： ５４９ — ４ ６ ５．
下（转 ２ 第０）页
第１ 卷第 ５ ０期
２ ０１ ３ 年 １ ０ 月
纳
加米 工工 艺 Ｎ
ｎｏａ— ｐ ｏｒ ｅｃｓ ｓ ｉ ｎｇ Ｔ ｅ ｃｈｎ ｉｑ ｅ ｕ
Ｖｏ
１． １ ０ ｏ ．Ｎ５
Ｏｃ
ｔ ｂｏ ｅ ｒ ２ ０１ ３
４
０４ ．
ａｂ ｏｍ ｉｎ ｉ ｃ ｓ Ｌｕｏ ｕ ｒ［Ｊ 】 ．Ｍ ａｔ Ｒ ｅ ｓ Ｂ ｕ ｌｌ， ２ ０ １ １，４ ６： ７ ０１ —８
１ ７ １３ ．
［９］ Ａ ｃｓｅ ｎ ｉｃｏ Ｊ． Ａ
． Ｍ ， ｅｊｉ ａ Ｙ ． ， Ｌ ｉｕ Ｈ． Ｂ ， ｅ．ｔ ａ １． Ｂ ｉ ｏｒｅ ｄ ｕ ｃ ｔ ｏ ｎ ｉ ｓ ｙ ｎ ｈｔｅ ｓｉ ｓ ｏ ｆ Ｅ ｕ — Ａｕ ｎ ｎａｏ ｐ ａ ｒｔ ｉｃ ｌ ｅ ｓ ［ Ｊ １ Ｌ ａ．ｎ ｇ ｍｕ ｉｒ ，
２ ０ ０ ３ ，１９ ５ ８ ： ２８５—８ ８ ６ ．
［
１ ４】 Ｃａ ｔ ｓ ｏｒ Ｌ ． ， Ｌ ｉｕｓ ａ ．Ｂ Ｍ．， Ｇ ｏ ｎ ａｚｌ ｚｅ Ｆ ． １． ， ｅ ｔ ａ １． ｘ Ｅ ｒ ａ ｔｃｅ ｌ ｕ ｌ — ｌ
ａｒ ｂ ｉ ｏｓ ｙ ｎ ｔ ｈｅ ｓｉ ｓ ｏ ｇ ｏ ｆ ｄ ｌｎ ａ ｎ ｏｐａ ｒ ｔｉｃ ｌｅ ｓｕ ｓｉ ｎ ｓ ｕｇ ｇａｒ ｂ ｅｅｔ
［１ ０ 】 Ｋ ｕｍ ａｒ Ｖ ． ， Ｙ ｄ ａａ ｖ Ｓ．Ｋ ． ， Ｐｌ ｎ ｔ ａ－ｍｅ ｄ ａｉ ｔｅ ｄ ｙ ｎｓｔ ｈ ｅ ｓ ｉ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ａｎｄ ｇｏｌ ｄ ａ ｎ ｎ ｏ ｐａ ｒ ｉ ｃｔｌ ｅｓ ｎａｄ ｔ ｅｈ ｒｉ ａｐｐ ｉ ｃ ａｌｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ［ Ｊ］ ． Ｊ
Ｃｈｅ ｍ Ｔ ｅ ｃｈ ｏ ｎｌ Ｂ ｏ ｉｔ ｅ ｃｈ ｎｏｌ ， ０ ０２９ ， ８４ １ ： １—１ ５ ５ ．
７ ｕｐ ｐ ｌ ［Ｊ ． Ｃ ｈ ］ ｅｍ Ｅ ｎ ｇ Ｊ， ２０ １ ０ ，１ ６ ４ ９ ：２－ ７ ９．
者 作 介
［ １ 简１ 】Ｓ ｈ ａ ｋ ａｎｒ ． Ｓ ，Ｒ ｉ ａ Ａ ．， Ａ ｋ ａ ｎｍｗ ａｒ Ｂ ， ｅ ． ｔ １ ａ． Ｂ ｉ ｏｌ ｏｇ ｉ ｃ ａ ｌ ｓ ｙｎ — ｔ ｈ ｅｓ ｉｓ ｏ ｆ ｔ ｒ ｉ ａ ｎｇ ｕ ｌ ｒ ａ ｇ ｏ ｌ ｄ ｎ ａ ｎ ｏｐ ｒｉ ｓｍ ｆｓＪ ］ ． Ｎａ ｔ Ｍａ ｔ ｅｒ ，
２ ０ ０ ， ３ ４ ４ ８：２— ８４ ８．
吴凌 风（ １ ９ ８ 一 ８ ，），男族汉， 福建省漳州市人 ，士 硕研
生 ．主究 要研 领究域 为 米材纳 的 制 料 备和形 貌调 控
【１ ２ 】 ｉ Ｘｅ Ｊ ．， Ｌ ｅｅ ．Ｊ ． ， ＷａＹ ｇｎ ．Ｄ Ｉ． Ｃ ．， ｅ ａ ｌｔ １ ．Ｓ ｉ ｌ ｖｅ ｒ ｎａｎ ｏ ｐｌ ａ ｅｔ ｓ ：
维吴维（ １ ８ ７９ 一），女 ， 族汉，福建 省 漳州市 ，人硕士
研 究生 ．主要研 究领 域为 米材纳料 的 制 备 和分离 纯化 。
ｆ ｒｏｍ ｂｉ ｏ ｏ ｌ ｉｇｃ ａｌ ｔｏ ｂ ｉ ｏｉ ｍ ｍｅｔ ｉｃ ｓ ｙ ｎ ｔ ｈｅ ｓ ｓｉ［Ｊ ］ ＿ ＣＡ Ｓ ａ ｎＮｏ ，
２０ ０ ７ １ ：， ４２９— ４３ ９．
李
清
彪 （１ ９ ６ ３ ）一 男，， 汉 ，族 福建 省 厦市人门 教， 授 ，博 士 究生导 研师，主 要研 究 域领为 境环化 与工 生
物中 纳米 技术 ／
； ／； ／ ； ／ ； ／ ；／ ； ＼！ ／ ：
［
１ ３］ Ｎ ａ ｒ ｙａａ ｎ ａ ｎ Ｋ Ｂ ．． ，Ｓ ｋ ｔａ ｈ ｉ ｅｖｌ ． ，Ｎ Ｅ ｘｔ ｒ ａ ｃｅ ｌ ｌ ｕ ｌ ａ ｒ ｙｓ ｎｔ ｈ ｅｓｉ ｓ
ｏｆ ｓ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ｎ ｎ ａｏ ｐａｒ ｔ ｅ ｌ ｅｉ ｕ ｓｓ ｎｉｇ ｈ ｅｔ ｌｅ ａ ｆ ｘｅ ｒｔａ ｃ ｔ ｆｏ Ｃ ｏ ｌｅ ｕｓ
／
； ＼ ／！ ：＼ ：
／ ；
／；
／；
／
； ：／ ／ ： ／ ；
（ 上接
第９页）
Ｐ ｏ ｒ ｒ ｅｇ ｓｓ ｎ ｉ Ｄ ｖ ｅ ｌ ｏ ｐ ｅｍ ｅｎｔ ｏｆ Ｍ ｏｎ ｏ ｌ ｔ ｉｈｉ ｃ Ａ ｃｔｉ ｖ ｅ Ｐ ｉｘｅ ｌ ｅＤ— ｔ ｅ ｃ ｔｏ ｒ ｆ ｏｒ Ｘ ｒ— ａ ｙ Ａｓ ｔ ｒ ｏ ｎｏ ｍ ｙ ｗｉ ｈ ｔ Ｓ Ｉ ＣＯＭＯ Ｓ Ｔｅ ｃｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙｇ
８ ［１ 王超． Ｒ Ｆ Ｓ Ｏ Ｉ ＣＭ Ｏ 工Ｓ 艺器 件 仿 真 及 电 路 应 用 研究
［Ｄ ］ ． 海：上华 东师 范大学 ２，０ ０１．
者 简 介作
［ ］Ｊ Ｐ．ｈ ｙ ｓ ｉ ｃｓ Ｐ ｏｒ ｅ ｄ ｃｉ ａ ， ２ ０ １２， ７３： １３ ３ ７ — ３１８ ．０
ｃ ｋ ｓ ｏ ｎＴ ，Ｏ Ｂｕ ｌ ｚ ｃ ｃａｈ ｅｌ ｌ ｉ Ｊ Ｆ ， Ｆｒｉ ｅ ｄｍａ ｎ ＤＪ ．Ａ １ ２一 Ｇｂ ｓ ［ ／ 】 ６ Ｄ
１ｉ １ — — ｍ Ｗ ｈ ａ ｌ ｆ— ． ｒ ａｔｅ ａ ｓｐ ｍｌ ｅｄ ５ ． ｔ ａｐ ｄ ｅｃ ｉｓ ｉ ｎｏ ｅｏ ｄ ｂｆａ ｃ ｋ ｅ ． ． ｑ
ｕ ａｌｉ ｚ ｅ ｒｉ ｗｔ ｈ ｃ ｕ ｒ ｒ ｅｎ ｔ — ｉ ｎ— ｔ ｅｇ ｒ ａｔ ｉｎｇ ｓ ｍｍｅ ｒｕ ｓ ｉ ｎ ４ — — ｎ ５ｍ
张
剑
（ １ ９８ ７一 ） ，男 汉，族 陕， 西渭 南人 ，硕 士 究 研
ＳＯ ｌ Ｃ Ｍ０Ｓ ｔ ｅ ｃ ｎｈｏ ｌｏ ｇ ［ｙＪ ］ ．Ｓ ｏ ｌ ｄ ｉ Ｓ —ｔａ ｔ ｅ Ｃ ｉｒ ｃｕ ｔ ｓ ｉ ， ０ ０ ２ ， ４９４
ｆ ４１ ： １ ２ ８９ １—３ ０ ５ ．
生 ． 要主 研究领 域为 通 信集 成 路电 设 计。
商世 广 １ （９７ ５一 ）， 男，汉族 ， 河 信南阳人 ， 副 教 授，
硕 士研 究 导 师 生， 要研主究 域领为 纳微 电 材子料 器与 。
件［
７ 】 骆苏 ，华刘
卫
丽 张苗， ，等 ．Ｓ Ｏ Ｉ在频 电射路 的应 中用
ＩＪ Ｊ ．微 子 电， ２ 学 ００ ５ ３ ，５（ １ ） ： ６ — ７ ０７
．仝 ，： ；＼ ！ 仝： ， ； 、 ！ 舍 ：，； ＼ ！全 ： 合舍： 合 舍 ／ ： 、；： 金 金全！ ／ ； ＼ ： 舍 ！金 ／ ＼ ！；， ； ＼： 合 合 ｛合 ：／＼ ： ／ ； ＼ ！ 合／ ；＼ ！ 金 金： 仓 ／ ！ ＼；： 仓 ！／ ； ＼ ： 金 金／ ＼ ：！仓 ／： ： 、 合
（
上第接 １页３） 【
１ 】 ８Ｖ Ｓ ，Ｒ ａｊ ｏ ｙｒａ Ａ Ｐ， ａ ｎ ｔＰ， ｔ ａ １ ｅ ．Ｐｏ ｌ ｍｅｙ ｒ ｍ ｉ ｅｒ ｏ ｃ ｎ ｔａｉ ｅｌ ｖ ｅｒ
ｂ ｉ ｃｏ ｈｅ ｉ ｍ ｃ ａ ｌ ｓｅ ｎ ｓ ｏ ｒｓ ｗ ｔ ｉｈ ｉ ｎ ｅ ｇ ｒｔａ ｔ ｅｄ ｐ ｏ ｌ ｙｍｅ ｒ ｃ ｏｍｐ ｏ ｓ ｉ ｅｔｓ
ｎａ ｎ ｐｏａ ｔｒ ｉｃｌ ｅ ｐ ｒｏ ｂｅ ｓ Ｉｊ］ ． ｅ ｎ ｓＳ ｒｏｓ ａ ｎ ｄ ｃ Ａｔ ｕ ｔ ｏａｒ ｓ Ｂ，
２ ０ １ １ ， １ ６ ０ ： ５６０ － ６ ５ ．５
ｆ ｒ ｏｅ ｌ ｅ ｃ ｒ ｉｔ ｃ ａｌ ｄｅ ｔ ｅｃｔ ｉ ｎ ｏ 【 Ｊ ］． Ｓｏ ｌｉｄ Ｓ ｔａ ｔ ｅ Ｓ ｃ ｅ ｉｎ ｃ ｅｓ， ２０
９， ０ １１ １： ０６６ １ １１６
．作
简者 介
［ ９１ ］ Ｃａ ｌｌ ｅ ｊａ ，Ｍ Ｎ ｏ ｒ ｄ ｓｔ ｒ ｍ ｏ Ｍ ，Ａ ｌ ａｖ ｅ ｚ ｒ ， Ｍ ｔ ａ ｅ１ ．ｉ ｇ ｈＨ ｌ ｓｙ ｅｎ ｓｉ — ｒ
ｉｖ ｅ ｐ ｏ ｌ ｙ ｅｍ ｒ— — ｂ ａ ｓ ｅ ｄ ｃａｎ ｔ ｉ ｌ ｖ ｅ ｒ ｅ—— ｓ ｅ ｎｓ ｏ ｒ ｓ ｏ ｒｆ ＤＮＡ ｄ ｅｔｅ ｃ —－
刘 伟 （志１ ９ ８９ 一 ） ，男，汉族， 南湖娄省底市人 ， 硕士
研究 生．要主 研 领究域 为 物 检 生 测
。 ｔｉｏ ｎ ［Ｊ ］ ． Ｕ ｒ ａｈ ｍｉ ｃｒ ｏｓ ｃ ｏ ｙ ， ｐ２０ ０ ，５ １ ５ ：０２ １ ５— ２２ ２
ｈ．ａ Ｂ Ｈ ，Ｌ ｅ ｅ ＳＭ， Ｐ ｒａ ｋ Ｔ Ｃ ， ｔｅ ａ １ ． Ｄｅｔ ｅ ｃ ｔ ｉｏ ｎ ｏ ｆ Ｈｅ ｐ — ［ ２ ０ 】 Ｃ
童朝阳（ １９ ７ ２一 ） ，男汉，族 ，四川 省山市乐 ，人 研究 员博 ．士研究生 师 ，主导要 究领域 研为 物生传 与感 生物
检测。
ａ
ｉｔｔ ｉ ｓ Ｂ Ｖｉ ｒ ｕ ｓ Ｈ（Ｂ Ｖ ） Ｄ Ｎ Ａ ａ ｔｆ ｅｍ ｔ ｏｍ ｏ ｌａｒ ｃ ｏｎ ｃ ｅ ｎｔ ｒ ａｔ ｉ ｎ ｓ ｏｕ
ｓ
ｉ ｎｇ ａ ｓ ｉｌ ｉｃ ａ ｎ ｎａ ｏｐ ｒａ ｔ ｉ ｃｌｅ ｅ — ｈ ｎａ ｎ ｃ ｅ ｍｄ ｉ ｃ ｒ ｏ ａｃ ｎ ｔｉ ｌ ｅ ｖｅ ｒ
ｓ
ｅ ｎ ｓｏｒ ｌ Ｊ １ ．Ｂ ｉ ｏ ｓ ｅ ｎ ｓ ｏ ｒ ｓ ａ ｎｄ Ｂ ｉ ｏ ｅｌ ｃｅｔ ｒ ｏ ｎｉ ｃ ｓ ２ ，０ ０ ９，２ ５ ：
１ ０３ — １ ５３ ．
张 平 ｆ金 ９ １７ ８一） ， 男 ，汉族， 东山省 平度人市 硕，士 研 究 生 ．
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