精密磨削加工技术的应用与发展
作者：王永康
摘要：精密磨削加工技术是现代机械制造业的一项关键技术之一，对人们的生产生活、国家国防与航空航天建设、社会的经济发展有着相当重要的作用。本文主要阐述了精密加工技术的原理、现行状况、发展趋势等。
关键词：精密磨削加工、磨削机理、磨削技术的发展、磨削技术的未来
引言
随着科学技术水平不断的提高，磨削加工已广泛应用于金属及其他材料的粗、精加工，是非常重要的切削加工方式。目前，磨削加工已经成为现代机械制造领域中实现精密与超精密加工最有效、应用最广泛的基本工艺技术，为人们提供高精度、高质量、高度自动化的技术装备的开发和研制。
磨削是指用磨料或磨具去除材料的加工工艺方法，一般来讲，按照砂轮线速度的高低可将其进行分类，把砂轮速度低于45 m/s的磨削称为普通磨削，把砂轮速度高于45 m/s的磨削称为高速磨削，把砂轮速度高于150m/s的磨削称为超高速磨削。按磨削效率将磨削分为普通磨削、高效磨削（高速磨削、超高速磨削、缓进给磨削、高效深切磨削、砂带磨削、快速短行程磨削和高速重负荷磨削）。磨削加工能达到的磨削精度在生产发展的不同时期有不同的精度范围，当前，按磨削精度将磨削分为普通磨削（加工精度＞1μm 、表面粗糙度R a0.16~1.25μm ）、精密磨削（加工精度1~0.5μm 、表面粗糙度R a0.04~1.25μm ）、超精密磨削（加工精度≤0.01μm 、表面粗糙度R a≤0.01μm ）。
一、精密磨削的内涵：
精密加工是指在一定发展时期中，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺，当前是指被加工零件的加工精度为l ～0.1µｍ，表面粗糙度值Ra0.2～0．01µｍ的加工技术。精密磨削是目前对钢铁等黑色金属和半导体等脆硬材料进行精密加工的主要方法之一，在现代化的机械和电子设备制造技术中占有十分重要的地位。 精密磨削主要靠对砂轮的精细修整，使用金刚石修整工具以极小而又均匀的微进给（10～15mm /min）。获得众多的等高微刃，加工表面磨削痕迹微细，最后采 用无火花光磨。由于微切削、滑移和摩擦等综合作用，达到低表面粗糙度值和高精度要求。高精密磨削的切屑很薄，砂轮磨粒承受很高的应力，磨粒表面受高温、高压作用，一般使用金刚石和立方氮化硼等高硬度磨料砂轮磨削。
二、磨削机理
精密磨削一般使用金刚石和立方氮化硼等高硬度磨料砂轮, 主要靠对砂轮的精细修整, 使用金刚石修整刀具以极小而又均匀的微进给(10～15mm/min),获得众多的等高微刃, 加工表面磨削痕迹微细, 最后采用无火花光磨, 由于微切削、滑移和摩擦等
综合作用, 达到低表面粗糙度值和高精度要求. 超精密磨削采用较小修整导程和吃刀量修整砂轮, 靠超微细磨粒等高微刃磨削作用进行磨削。精密与超精密磨削的机理与普通磨削有一些不同之处：
1) 超微量切除. 应用较小的修整导程和修整深度精细修整砂轮, 使磨粒细微破碎而产生微刃。一颗磨粒变成多颗磨粒, 相当于砂轮粒度变细, 微刃的微切削作用就形成了低粗糙度。
2) 微刃的等高切削作用. 微刃是砂轮精细修整而成的, 分布在砂轮表层同一深度上的微刃数量多, 等高性好, 从而加工表面的残留高度极小。
3) 单颗粒磨削加工过程. 磨粒是一颗具有弹性支承和大负前角切削刃的弹性体, 单颗磨粒磨削时在与工件接触过程中, 开始是弹性区, 继而是塑性区、切削区、塑性区, 最后是弹性区, 这与切屑形成形状相符合。
4）连续磨削加工过程. 工件连续转动, 砂轮持续切入, 开始磨削系统整个部分都产生弹性变形, 磨削切入量(磨削深度) 和实际工件尺寸的减少量之间产生差值即弹性让刀量. 此后, 磨削切入量逐渐变得与实际工件尺寸减少量相等, 磨削系统处于稳定状态. 最后, 磨削切入量到达给定值, 但磨削系统弹性变形逐渐恢复为无切深磨削状态。
三、精密磨削技术的历史与发展
磨削加工是利用磨料去除材料的加工方法，也是人类最早使用的生产技艺方法。18 世纪中期世界上第一台外圆磨床问世，由石英石、石榴石等天然磨料敲凿成为磨具，用天然磨料和粘土烧结成砂轮，随后又研制出平面磨床。20 世纪40 年代末，人造金刚石出现；1957 年立方氮化硼研制成功；随着磨削技术的发展，特别是超硬磨料人造金刚石砂轮与立方氮化硼砂轮的应用，磨削加工应用范围日益增大，磨削加工精度及加工效率也不断提高。
磨削技术得到快速发展，磨床在加工机床中也占有相当大比例。据1997 年欧洲机床展览会(EMO)调查数据表明，25% 企业认为磨削是他们应用最主要加工技术，车削只占23% ，钻削占22% ，其它占8% ；而磨床在企业中占机床比例高达42% ，车床占23% ，铣床占22% ，钻床占14% 。我国从1949～2007 年，开发生产通用磨床有1800 多种，专用磨床有几百种，磨床拥有量占金属切削机床总拥有量15% 左右。可见，磨削技术及磨床在机械制造业中占有极其重要位置。
近年来, 国外对精密和超精密磨削技术的开发研究获得了不少成果, 主要体现在ELID 镜面磨削新工艺的研究和加工硅片以及非球面零件的应用上.
日本国家理化学研究所的大森整教授于1987年研制成功了在线修整砂轮的ELID 镜面磨削新工艺. ELID镜面磨削技术是利用在线电解修整作用连续修整砂轮来获得恒定的出刃高度和良好的容屑空间, 同时, 在砂轮表面逐渐形成一层钝化膜, 当砂轮表面的磨粒磨损后, 钝化膜被工件表面磨屑刮擦去除, 电解过程继续进行, 对砂轮表面进行修整, 加工表面粗糙度Ｒａ达到0.02～0.01µｍ, 表面光泽如镜。
美国在应用ELID 磨削技术加工电子计算机半导体微处理器方面已取得突破性进展, 在国防、航空航天及核工业等领域的应用研究也在进行.PeiZJ 等人对自旋转磨削法精密磨削硅片的加工过程以及加工参数、砂轮粒度、冷却液供给等加工条件对磨削力、硅片面型精度、表面磨削纹路、表面粗糙度的影响进行了系统的试验研究。
德国是最早研究ELID 磨削技术的几个国家之一. 在1991年就有德国的机床厂家
进行了系列ELID 专用机床的设计. 此外, 英、法等国对ELID 磨削技术也进行了深入的研究。
我国对精密磨削的研究尚处于初级阶段, 主要集中在高校. 哈尔滨工业大学以袁哲俊教授为首的ELID 课题组研制成功了ELID 磨削专用的脉冲电源、磨削液和砂轮, 在国产机床上开发出平面、外圆和内圆ELID 磨削装置, 实现了多种难加工材料的精密镜面磨削. 目前正积极推广普及该技术, 实现其产品化。东华大学机械学院的研究者利用固结磨粒低频振动(频率ｆ为0.5～20Ｈｚ、振幅为0.5～3ｍｍ) 压力进给的精整加工, 研究了适宜的经济加工条件及有关参数, 并验证了经过磨削加工后的陶瓷工件, 再经过超精加工可以进一步降低其表面粗糙度, 可降低2～4个等级。清华大学在集成电路超精密加工设备、磁盘加工及超精密砂带磨削和研抛、金刚石微粉砂轮超精密磨削等方面进行了深入研究, 并有相应产品问世。
四、精密磨削存在的问题以及发展前景
精密和超精密磨削技术在各方面均取得迅速发展, 已成为先进制造技术的关键技术之一. 在今后的研究中应着重关注以下几个问题：
1) 超精密磨削的基本理论和工艺研究, 着重研究多颗粒磨削机理、磨削表面生成及影响因素等；
2) 开发高精度、高性能、高自动化的加工机械及测试装置的移动导向机构及轴承；
3) 目前ＥＬＩＤ镜面磨削技术存在的问题是向高速回转的砂轮供电非常困难, 通常采用接触式电刷供电设备, 该设备复杂昂贵, 影响了ＥＬＩＤ镜面磨削技术的推广应用；
4) 开发适于超精密加工并能获得超高精度，超高表面质量的新型材料，如超微粉烧结金属、新高分子材料等。
磨削技术发展很快，在机械加工中起着非常重要的作用。目前，磨削技术的发展趋势是：发展超硬磨料磨具，研究精密及超精密磨削、高速高效磨削机理并开发其新的磨削加工技术，研制高精度、高刚性的自动化磨床。
五、结束语
随着机械产品精度、可靠性和寿命的要求不断提高，高硬度、高强度、高耐磨性、高功能性的新型材料的应用增多，磨削加工技术在磨削机理、磨料磨具开发、精密超精密磨削、高速超高速磨削、磨削自动化和智能化、磨削工艺过程监控与检测技术、磨削加工软件技术等方面发展迅速，在机械加工中起着至关重要的作用。因此，我们应深入研究国外先进磨削技术，系统地开展和推广各种先进与实用的磨削技术，积极推进我国机械制造工艺技术的进步。
参考文献
[1]蔡光起, 冯宝富, 赵恒华. 磨削技术的最新进展[J].世界制造技术与装备市场,2003(1):16-19.
[2]袁哲俊, 王先逵. 精密和超精密加工技术[M].北京:机械工业出版社,2002.
[3]赵恒华，王颖．磨削加工技术的发展及现状[J]．制造技术与机床，2007(7)：39—41，6.
[4]左磊．浅谈高速及超高速磨削加工[J]．科技视野，2009(17)：55.
[5]邓朝晖, 刘建, 曹德芳, 等. 纳米结构陶瓷涂层精密磨削的材料去除机理及磨削加工技术[Ｊ].
金刚石与磨料磨具工程,2003,6(138):5-11.
[6]吴云锋, 陈洁. 精密超精密加工技术综述[J].新技术新工艺,2007(6):38-40.
[7]袁哲俊. 精密和超精密加工技术的新进展[J].工具技术,2006(3):3-9.
[8]李伯民, 赵波. 现代磨削技术[M].北京:机械工业出版社,2003.
[9]邓玉明．浅谈高速强力磨削的发展与应用[J]．中国新技术新产品，2008(11)：81．
[10]高兴军, 赵恒华. 精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究[J].机械制造,2004(12):43-45.
精密磨削加工技术的应用与发展
作者：王永康
摘要：精密磨削加工技术是现代机械制造业的一项关键技术之一，对人们的生产生活、国家国防与航空航天建设、社会的经济发展有着相当重要的作用。本文主要阐述了精密加工技术的原理、现行状况、发展趋势等。
关键词：精密磨削加工、磨削机理、磨削技术的发展、磨削技术的未来
引言
随着科学技术水平不断的提高，磨削加工已广泛应用于金属及其他材料的粗、精加工，是非常重要的切削加工方式。目前，磨削加工已经成为现代机械制造领域中实现精密与超精密加工最有效、应用最广泛的基本工艺技术，为人们提供高精度、高质量、高度自动化的技术装备的开发和研制。
磨削是指用磨料或磨具去除材料的加工工艺方法，一般来讲，按照砂轮线速度的高低可将其进行分类，把砂轮速度低于45 m/s的磨削称为普通磨削，把砂轮速度高于45 m/s的磨削称为高速磨削，把砂轮速度高于150m/s的磨削称为超高速磨削。按磨削效率将磨削分为普通磨削、高效磨削（高速磨削、超高速磨削、缓进给磨削、高效深切磨削、砂带磨削、快速短行程磨削和高速重负荷磨削）。磨削加工能达到的磨削精度在生产发展的不同时期有不同的精度范围，当前，按磨削精度将磨削分为普通磨削（加工精度＞1μm 、表面粗糙度R a0.16~1.25μm ）、精密磨削（加工精度1~0.5μm 、表面粗糙度R a0.04~1.25μm ）、超精密磨削（加工精度≤0.01μm 、表面粗糙度R a≤0.01μm ）。
一、精密磨削的内涵：
精密加工是指在一定发展时期中，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺，当前是指被加工零件的加工精度为l ～0.1µｍ，表面粗糙度值Ra0.2～0．01µｍ的加工技术。精密磨削是目前对钢铁等黑色金属和半导体等脆硬材料进行精密加工的主要方法之一，在现代化的机械和电子设备制造技术中占有十分重要的地位。 精密磨削主要靠对砂轮的精细修整，使用金刚石修整工具以极小而又均匀的微进给（10～15mm /min）。获得众多的等高微刃，加工表面磨削痕迹微细，最后采 用无火花光磨。由于微切削、滑移和摩擦等综合作用，达到低表面粗糙度值和高精度要求。高精密磨削的切屑很薄，砂轮磨粒承受很高的应力，磨粒表面受高温、高压作用，一般使用金刚石和立方氮化硼等高硬度磨料砂轮磨削。
二、磨削机理
精密磨削一般使用金刚石和立方氮化硼等高硬度磨料砂轮, 主要靠对砂轮的精细修整, 使用金刚石修整刀具以极小而又均匀的微进给(10～15mm/min),获得众多的等高微刃, 加工表面磨削痕迹微细, 最后采用无火花光磨, 由于微切削、滑移和摩擦等
综合作用, 达到低表面粗糙度值和高精度要求. 超精密磨削采用较小修整导程和吃刀量修整砂轮, 靠超微细磨粒等高微刃磨削作用进行磨削。精密与超精密磨削的机理与普通磨削有一些不同之处：
1) 超微量切除. 应用较小的修整导程和修整深度精细修整砂轮, 使磨粒细微破碎而产生微刃。一颗磨粒变成多颗磨粒, 相当于砂轮粒度变细, 微刃的微切削作用就形成了低粗糙度。
2) 微刃的等高切削作用. 微刃是砂轮精细修整而成的, 分布在砂轮表层同一深度上的微刃数量多, 等高性好, 从而加工表面的残留高度极小。
3) 单颗粒磨削加工过程. 磨粒是一颗具有弹性支承和大负前角切削刃的弹性体, 单颗磨粒磨削时在与工件接触过程中, 开始是弹性区, 继而是塑性区、切削区、塑性区, 最后是弹性区, 这与切屑形成形状相符合。
4）连续磨削加工过程. 工件连续转动, 砂轮持续切入, 开始磨削系统整个部分都产生弹性变形, 磨削切入量(磨削深度) 和实际工件尺寸的减少量之间产生差值即弹性让刀量. 此后, 磨削切入量逐渐变得与实际工件尺寸减少量相等, 磨削系统处于稳定状态. 最后, 磨削切入量到达给定值, 但磨削系统弹性变形逐渐恢复为无切深磨削状态。
三、精密磨削技术的历史与发展
磨削加工是利用磨料去除材料的加工方法，也是人类最早使用的生产技艺方法。18 世纪中期世界上第一台外圆磨床问世，由石英石、石榴石等天然磨料敲凿成为磨具，用天然磨料和粘土烧结成砂轮，随后又研制出平面磨床。20 世纪40 年代末，人造金刚石出现；1957 年立方氮化硼研制成功；随着磨削技术的发展，特别是超硬磨料人造金刚石砂轮与立方氮化硼砂轮的应用，磨削加工应用范围日益增大，磨削加工精度及加工效率也不断提高。
磨削技术得到快速发展，磨床在加工机床中也占有相当大比例。据1997 年欧洲机床展览会(EMO)调查数据表明，25% 企业认为磨削是他们应用最主要加工技术，车削只占23% ，钻削占22% ，其它占8% ；而磨床在企业中占机床比例高达42% ，车床占23% ，铣床占22% ，钻床占14% 。我国从1949～2007 年，开发生产通用磨床有1800 多种，专用磨床有几百种，磨床拥有量占金属切削机床总拥有量15% 左右。可见，磨削技术及磨床在机械制造业中占有极其重要位置。
近年来, 国外对精密和超精密磨削技术的开发研究获得了不少成果, 主要体现在ELID 镜面磨削新工艺的研究和加工硅片以及非球面零件的应用上.
日本国家理化学研究所的大森整教授于1987年研制成功了在线修整砂轮的ELID 镜面磨削新工艺. ELID镜面磨削技术是利用在线电解修整作用连续修整砂轮来获得恒定的出刃高度和良好的容屑空间, 同时, 在砂轮表面逐渐形成一层钝化膜, 当砂轮表面的磨粒磨损后, 钝化膜被工件表面磨屑刮擦去除, 电解过程继续进行, 对砂轮表面进行修整, 加工表面粗糙度Ｒａ达到0.02～0.01µｍ, 表面光泽如镜。
美国在应用ELID 磨削技术加工电子计算机半导体微处理器方面已取得突破性进展, 在国防、航空航天及核工业等领域的应用研究也在进行.PeiZJ 等人对自旋转磨削法精密磨削硅片的加工过程以及加工参数、砂轮粒度、冷却液供给等加工条件对磨削力、硅片面型精度、表面磨削纹路、表面粗糙度的影响进行了系统的试验研究。
德国是最早研究ELID 磨削技术的几个国家之一. 在1991年就有德国的机床厂家
进行了系列ELID 专用机床的设计. 此外, 英、法等国对ELID 磨削技术也进行了深入的研究。
我国对精密磨削的研究尚处于初级阶段, 主要集中在高校. 哈尔滨工业大学以袁哲俊教授为首的ELID 课题组研制成功了ELID 磨削专用的脉冲电源、磨削液和砂轮, 在国产机床上开发出平面、外圆和内圆ELID 磨削装置, 实现了多种难加工材料的精密镜面磨削. 目前正积极推广普及该技术, 实现其产品化。东华大学机械学院的研究者利用固结磨粒低频振动(频率ｆ为0.5～20Ｈｚ、振幅为0.5～3ｍｍ) 压力进给的精整加工, 研究了适宜的经济加工条件及有关参数, 并验证了经过磨削加工后的陶瓷工件, 再经过超精加工可以进一步降低其表面粗糙度, 可降低2～4个等级。清华大学在集成电路超精密加工设备、磁盘加工及超精密砂带磨削和研抛、金刚石微粉砂轮超精密磨削等方面进行了深入研究, 并有相应产品问世。
四、精密磨削存在的问题以及发展前景
精密和超精密磨削技术在各方面均取得迅速发展, 已成为先进制造技术的关键技术之一. 在今后的研究中应着重关注以下几个问题：
1) 超精密磨削的基本理论和工艺研究, 着重研究多颗粒磨削机理、磨削表面生成及影响因素等；
2) 开发高精度、高性能、高自动化的加工机械及测试装置的移动导向机构及轴承；
3) 目前ＥＬＩＤ镜面磨削技术存在的问题是向高速回转的砂轮供电非常困难, 通常采用接触式电刷供电设备, 该设备复杂昂贵, 影响了ＥＬＩＤ镜面磨削技术的推广应用；
4) 开发适于超精密加工并能获得超高精度，超高表面质量的新型材料，如超微粉烧结金属、新高分子材料等。
磨削技术发展很快，在机械加工中起着非常重要的作用。目前，磨削技术的发展趋势是：发展超硬磨料磨具，研究精密及超精密磨削、高速高效磨削机理并开发其新的磨削加工技术，研制高精度、高刚性的自动化磨床。
五、结束语
随着机械产品精度、可靠性和寿命的要求不断提高，高硬度、高强度、高耐磨性、高功能性的新型材料的应用增多，磨削加工技术在磨削机理、磨料磨具开发、精密超精密磨削、高速超高速磨削、磨削自动化和智能化、磨削工艺过程监控与检测技术、磨削加工软件技术等方面发展迅速，在机械加工中起着至关重要的作用。因此，我们应深入研究国外先进磨削技术，系统地开展和推广各种先进与实用的磨削技术，积极推进我国机械制造工艺技术的进步。
参考文献
[1]蔡光起, 冯宝富, 赵恒华. 磨削技术的最新进展[J].世界制造技术与装备市场,2003(1):16-19.
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金刚石与磨料磨具工程,2003,6(138):5-11.
[6]吴云锋, 陈洁. 精密超精密加工技术综述[J].新技术新工艺,2007(6):38-40.
[7]袁哲俊. 精密和超精密加工技术的新进展[J].工具技术,2006(3):3-9.
[8]李伯民, 赵波. 现代磨削技术[M].北京:机械工业出版社,2003.
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[10]高兴军, 赵恒华. 精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究[J].机械制造,2004(12):43-45.