洁净室标准规格说明
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1美国联邦标准209D洁净室规格
洁净室级数（粒子大
微尘粒子
压力
值域℃
温度
推薦误差
值℃值℃
最大MAX%
最小误差MIN%%
层流方式
0.35~0.55 m/s
1080 ~ 1620
风速与换气率（次
照度lux
/hr)
粒子数目
mmAg
小um ≦1
1 10 100 1000 10000 100000
≧0.5 ≧0.5 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0
≧≦10
≧≦100 ≦1 ≦1000 ≦10 ≦10000 ≦65 ≦100000 ≦700
±2.8特 殊
±特
殊
需
＞22.2
需 求 ±1.4
求 乱流方式≧20 次
/hr
±至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。
表1-2美国联邦标准209E
5um 单位 单位 单位 单位
(ft (ft
(m 3 )(ft 3 )(m 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) 公制英制3 ) 3 )
- - 353 - - 106003530 - - [1**********]00洁净度等级
微尘粒子
单位
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m 3 ）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。
表1-3日本JIS（9920 ~1989）标准
粒径＼级数Class5Class6 Class7 Class8
0.1 10 1 10 2 10 310 4 10 5 10 6 10 7 10 8 2362，，6001011，，100101，0001，010，00010，100，000 3，50035，，，500，000 2，，000
在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10 3 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。
表1-4德国规格表
等级3 4 5 6
微尘粒径(um)
4*10 3 4*10 4 4*10 5 4*10 6
1*10 3 1*10 4 1*10 5 1*10 6
- 0.03*10 4 0.03*10 5 0.03*10 6
与别国等级比较
美国
100 - 10000 100000
法国 4000 - 400000 4000000
美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ ft 3 ）（以0.5u粒子为依准）。
由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6.
表1-5美国209D规定粒子数（上限值）
等级Class10，，000
（1，225）350（12，250（263）（2，630）（26，300（105）（1，050）（10，50010，000（350100，000（3，500（35）（350）（3，500）（35，000000） 000）
*（）内之数值单位：个/M 3 。
表1-6美日洁净度级别换算
日本
美国
级别级别级别级别级别级别除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-7即为世界各国洁净度等级规格之比较。
表1-7世界各国洁净度等级规格表
国名 美国 美国 日本 英国德国 法国 澳洲韩国 中国大陆规格 FS209D BS 5295AFN 4410KS QJ2214 年度19890.5
单位pcs/M 3 pcs/M 3pcs/M 3pcs/M 3pcs/M 3 pcs/M 3
150.035100.355 E FClass
6 G H7 I 5 400,0008 J 6 3500100,000
*以0.5um为区别。
洁净室标准规格说明
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1美国联邦标准209D洁净室规格
洁净室级数（粒子大
微尘粒子
压力
值域℃
温度
推薦误差
值℃值℃
最大MAX%
最小误差MIN%%
层流方式
0.35~0.55 m/s
1080 ~ 1620
风速与换气率（次
照度lux
/hr)
粒子数目
mmAg
小um ≦1
1 10 100 1000 10000 100000
≧0.5 ≧0.5 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0
≧≦10
≧≦100 ≦1 ≦1000 ≦10 ≦10000 ≦65 ≦100000 ≦700
±2.8特 殊
±特
殊
需
＞22.2
需 求 ±1.4
求 乱流方式≧20 次
/hr
±至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。
表1-2美国联邦标准209E
5um 单位 单位 单位 单位
(ft (ft
(m 3 )(ft 3 )(m 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) 公制英制3 ) 3 )
- - 353 - - 106003530 - - [1**********]00洁净度等级
微尘粒子
单位
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m 3 ）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。
表1-3日本JIS（9920 ~1989）标准
粒径＼级数Class5Class6 Class7 Class8
0.1 10 1 10 2 10 310 4 10 5 10 6 10 7 10 8 2362，，6001011，，100101，0001，010，00010，100，000 3，50035，，，500，000 2，，000
在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10 3 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。
表1-4德国规格表
等级3 4 5 6
微尘粒径(um)
4*10 3 4*10 4 4*10 5 4*10 6
1*10 3 1*10 4 1*10 5 1*10 6
- 0.03*10 4 0.03*10 5 0.03*10 6
与别国等级比较
美国
100 - 10000 100000
法国 4000 - 400000 4000000
美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ ft 3 ）（以0.5u粒子为依准）。
由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6.
表1-5美国209D规定粒子数（上限值）
等级Class10，，000
（1，225）350（12，250（263）（2，630）（26，300（105）（1，050）（10，50010，000（350100，000（3，500（35）（350）（3，500）（35，000000） 000）
*（）内之数值单位：个/M 3 。
表1-6美日洁净度级别换算
日本
美国
级别级别级别级别级别级别除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-7即为世界各国洁净度等级规格之比较。
表1-7世界各国洁净度等级规格表
国名 美国 美国 日本 英国德国 法国 澳洲韩国 中国大陆规格 FS209D BS 5295AFN 4410KS QJ2214 年度19890.5
单位pcs/M 3 pcs/M 3pcs/M 3pcs/M 3pcs/M 3 pcs/M 3
150.035100.355 E FClass
6 G H7 I 5 400,0008 J 6 3500100,000
*以0.5um为区别。